| Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces |  |
Journal articles
Transmission electron microscopy characterization of low temperature boron doped silicon epitaxial films
Guillaume Noircler
1, 2
Marta Chrostowski
Melvyn Larranaga
1, 3
Etienne Drahi
Pere Roca I Cabarrocas
4
Patricia de Coux
Bénédicte Warot-Fonrose
1, 2
2
CEMES-I3EM - Interférométrie, In situ et Instrumentation pour la Microscopie Electronique
CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
3
CEMES-PPM - Physique de la Plasticité et Métallurgie
CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
Guillaume Noircler 1, 2
Author
Marta Chrostowski
Author
Melvyn Larranaga 1, 3
Author
Etienne Drahi
Author
Pere Roca I Cabarrocas 4
Author
Patricia de Coux
Author
Bénédicte Warot-Fonrose 1, 2
Author IdHAL : benedicte-warot-fonrose ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/A-6131-2017 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9829-9431
1
CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales (29 Rue Jeanne Marvig - BP 94347 31055 TOULOUSE CEDEX 4
- France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- ICT-FR 2599 - Institut de Chimie de Toulouse (118 Route de Narbonne 31062 Toulouse cédex 9 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- IRD - Institut de Recherche pour le Développement (Siège Le Sextant 44, bd de Dunkerque CS 90009 13572 Marseille cedex 02 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : FR2599 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8011 (France)
2
CEMES-I3EM - Interférométrie, In situ et Instrumentation pour la Microscopie Electronique (CEMES 29 rue Jeanne Marvig, BP 94347, F-31055 Toulouse Cedex 4 - France)
- CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales (29 Rue Jeanne Marvig - BP 94347 31055 TOULOUSE CEDEX 4
- France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- ICT-FR 2599 - Institut de Chimie de Toulouse (118 Route de Narbonne 31062 Toulouse cédex 9 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- IRD - Institut de Recherche pour le Développement (Siège Le Sextant 44, bd de Dunkerque CS 90009 13572 Marseille cedex 02 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : FR2599 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8011 (France)
3
CEMES-PPM - Physique de la Plasticité et Métallurgie (CEMES 29 rue Jeanne Marvig, BP 94347, F-31055 Toulouse Cedex 4 - France)
- CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales (29 Rue Jeanne Marvig - BP 94347 31055 TOULOUSE CEDEX 4
- France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- ICT-FR 2599 - Institut de Chimie de Toulouse (118 Route de Narbonne 31062 Toulouse cédex 9 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- IRD - Institut de Recherche pour le Développement (Siège Le Sextant 44, bd de Dunkerque CS 90009 13572 Marseille cedex 02 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : FR2599 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8011 (France)
4
LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau] (bat. 408 Route de Saclay 91128 PALAISEAU CEDEX - France)
- X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7647 (France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03030275
Contributor : Pere Roca I Cabarrocas <>
Submitted on : Monday, December 14, 2020 - 7:02:57 PM
Last modification on : Tuesday, February 16, 2021 - 3:11:55 AM
Contributor : Pere Roca I Cabarrocas <>
Submitted on : Monday, December 14, 2020 - 7:02:57 PM
Last modification on : Tuesday, February 16, 2021 - 3:11:55 AM
File
Preprint CrystEngCom by G Noir...
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Identifiers
- HAL Id : hal-03030275, version 1
- DOI : 10.1039/D0CE00817F
Collections
X | CNRS | X-PICM | LPICM | X-DEP-PHYS | IP_PARIS | UNIV-TLSE3 | CEMES | INC-CNRS | INSA-TOULOUSE | INSA-GROUPE | IRD | PPM | I3EM
Citation
Guillaume Noircler, Marta Chrostowski, Melvyn Larranaga, Etienne Drahi, Pere Roca I Cabarrocas, et al.. Transmission electron microscopy characterization of low temperature boron doped silicon epitaxial films. CrystEngComm, Royal Society of Chemistry, 2020, 22 (33), pp.5464-5472. ⟨10.1039/D0CE00817F⟩. ⟨hal-03030275⟩
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