Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching

Estelle Neiss (1) , Jean-Luc Rehspringer (2) , Loïc Mager (2) , Alain Fort (2) , Joël Fontaine (1) , Paul Montgomery (3) , Manuel Flury (4) , Stéphane Robert (5)

1 LSP - Laboratoire des Systèmes Photoniques
2 IPCMS - Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg
3 InESS - Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes
4 LHC - Laboratoire Hubert Curien
5 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes

Domains: Optics / Photonic

Estelle Neiss, Jean-Luc Rehspringer, Loïc Mager, Alain Fort, Joël Fontaine, et al.. Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching. Applied physics. A, Materials science & processing, 2008, A92, pp.351-356. ⟨ujm-00290807⟩