Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching

Estelle Neiss 1 Jean-Luc Rehspringer 2 Loïc Mager 2 Alain Fort 2 Joël Fontaine 1 Paul Montgomery 3 Manuel Flury 4 Stéphane Robert 5
1 LSP - Laboratoire des Systèmes Photoniques
2 IPCMS - Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg
3 InESS - Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes
4 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
5 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes
Document type :
Journal articles
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00290807
Contributor : Manuel Flury <>
Submitted on : Thursday, June 26, 2008 - 2:59:11 PM
Last modification on : Tuesday, November 19, 2019 - 2:37:48 AM

Identifiers

  • HAL Id : ujm-00290807, version 1

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UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | LAHC | PARISTECH | IOGS

Citation

Estelle Neiss, Jean-Luc Rehspringer, Loïc Mager, Alain Fort, Joël Fontaine, et al.. Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching. Applied physics. A, Materials science & processing, Springer Verlag, 2008, A92, pp.351-356. ⟨ujm-00290807⟩

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