Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching
Estelle Neiss
(1)
,
Jean-Luc Rehspringer
(2)
,
Loïc Mager
(2)
,
Alain Fort
(2)
,
Joël Fontaine
(1)
,
Paul Montgomery
(3)
,
Manuel Flury
(4)
,
Stéphane Robert
(5)
Loïc Mager
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Paul Montgomery
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Manuel Flury
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Stéphane Robert
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