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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching
Estelle Neiss
1
Jean-Luc Rehspringer
2
Loïc Mager
2
Alain Fort
2
Joël Fontaine
1
Paul Montgomery
3
Manuel Flury
4
Stéphane Robert
5
Estelle Neiss 1
Author
Jean-Luc Rehspringer 2
Author
Loïc Mager 2
Author IdHAL : loic-mager ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9601-0024
Alain Fort 2
Author
Joël Fontaine 1
Author
Paul Montgomery 3
Author
Manuel Flury 4
Author
Stéphane Robert 5
Author IdHAL : stephane-robert
1
LSP - Laboratoire des Systèmes Photoniques (Boulevard Sébastien Brant 67412 Strasbourg - France)
2
IPCMS - Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg (23 rue du Loess - BP 43 - 67034 Strasbourg Cedex 2 - France - France)
- Université Louis Pasteur - Strasbourg I (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7504 (France)
3
InESS - Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes (23, rue du Loess - BP 20 CR 67037 STRASBOURG Cedex 2 - France)
- Université Louis Pasteur - Strasbourg I (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7163 (France)
4
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
5
DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes (France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] : EA3523 (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00290807
Contributor : Manuel Flury <>
Submitted on : Thursday, June 26, 2008 - 2:59:11 PM
Last modification on : Thursday, April 23, 2020 - 2:26:30 PM
Contributor : Manuel Flury <>
Submitted on : Thursday, June 26, 2008 - 2:59:11 PM
Last modification on : Thursday, April 23, 2020 - 2:26:30 PM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00290807, version 1
Collections
UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | LAHC | PARISTECH | IOGS | UDL | SITE-ALSACE
Citation
Estelle Neiss, Jean-Luc Rehspringer, Loïc Mager, Alain Fort, Joël Fontaine, et al.. Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching. Applied physics. A, Materials science & processing, Springer Verlag, 2008, A92, pp.351-356. ⟨ujm-00290807⟩
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