Rapid Control of submicrometer periodic structures by a neural inversion from ellipsometric measurement

Issam Gereige 1 Stéphane Robert 2 Damien Jamon 2 Jean Jacques Rousseau 1 Gérard Granet 3
1 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes
2 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
3 LASMEA - Laboratoire des sciences et matériaux pour l'électronique et d'automatique
Document type :
Journal articles
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00291969
Contributor : Damien Jamon <>
Submitted on : Monday, June 30, 2008 - 11:02:19 AM
Last modification on : Tuesday, November 19, 2019 - 10:18:44 AM

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  • HAL Id : ujm-00291969, version 1

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UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | INSTITUT_PASCAL | PRES_CLERMONT | PARISTECH | IOGS

Citation

Issam Gereige, Stéphane Robert, Damien Jamon, Jean Jacques Rousseau, Gérard Granet. Rapid Control of submicrometer periodic structures by a neural inversion from ellipsometric measurement. Optics Communications, Elsevier, 2007, 278 (2), pp.270. ⟨ujm-00291969⟩

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