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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
Rapid Control of submicrometer periodic structures by a neural inversion from ellipsometric measurement
Issam Gereige 1
Author
Stéphane Robert 2
Mail :
Author IdHAL : stephane-robert
Damien Jamon 2
Mail :
Author IdHAL : damien-jamon ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5218-0793
Jean Jacques Rousseau 1
Author
Gérard Granet 3
Mail :
Author
1
DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes (France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] : EA3523 (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
2
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
3
LASMEA - Laboratoire des sciences et matériaux pour l'électronique et d'automatique (24 Av des landais 63177 AUBIERE CEDEX - France)
- UBP - Université Blaise Pascal - Clermont-Ferrand 2 (34, avenue Carnot - BP 185 / 63006 Clermont-Ferrand cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6602 (France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00291969
Contributor : Damien Jamon <>
Submitted on : Monday, June 30, 2008 - 11:02:19 AM
Last modification on : Monday, January 13, 2020 - 5:46:03 PM
Contributor : Damien Jamon <>
Submitted on : Monday, June 30, 2008 - 11:02:19 AM
Last modification on : Monday, January 13, 2020 - 5:46:03 PM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00291969, version 1
Collections
UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | INSTITUT_PASCAL | PRES_CLERMONT | PARISTECH | IOGS | UDL
Citation
Issam Gereige, Stéphane Robert, Damien Jamon, Jean Jacques Rousseau, Gérard Granet. Rapid Control of submicrometer periodic structures by a neural inversion from ellipsometric measurement. Optics Communications, Elsevier, 2007, 278 (2), pp.270. ⟨ujm-00291969⟩
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