Ellipsometric characterization of photo-resist gratings using artificial neural network - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue physica status solidi (c) Année : 2008

Ellipsometric characterization of photo-resist gratings using artificial neural network

Damien Jamon  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://ujm.hal.science/ujm-00292016

Soumis le : lundi 30 juin 2008-11:31:54

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50

Fichier non déposé

Dates et versions

ujm-00292016 , version 1 (30-06-2008)

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00292016 , version 1

Citer

Issam Gereige, Stéphane Robert, M. Stchakovsky, Damien Jamon, Frederic Celle, et al.. Ellipsometric characterization of photo-resist gratings using artificial neural network. physica status solidi (c), 2008, 5 (5), pp.1133. ⟨ujm-00292016⟩

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