Patterned photo-resist control by neural inversion of ellipsometric data - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Patterned photo-resist control by neural inversion of ellipsometric data

Damien Jamon  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://ujm.hal.science/ujm-00292101

Soumis le : lundi 30 juin 2008-14:46:18

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50

Fichier non déposé

Dates et versions

ujm-00292101 , version 1 (30-06-2008)

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00292101 , version 1

Citer

Issam Gereige, Stéphane Robert, M. Stchakovsky, Damien Jamon, Frederic Celle, et al.. Patterned photo-resist control by neural inversion of ellipsometric data. 4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, Jun 2007, Stockholm, Sweden. pp.179. ⟨ujm-00292101⟩

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