Patterned photo-resist control by neural inversion of ellipsometric data
Issam Gereige
(1)
,
Stéphane Robert
(1)
,
M. Stchakovsky
,
Damien Jamon
(1)
,
Frederic Celle
(2)
,
S. Reynaud
(2)
,
Jean-Claude Pommier
(2)
,
Yves Jourlin
(2)
Stéphane Robert
- Function : Author
- PersonId : 10263
- IdHAL : stephane-robert
- IdRef : 077187717
M. Stchakovsky
- Function : Author
Damien Jamon
- Function : Author
- PersonId : 10027
- IdHAL : damien-jamon
- ORCID : 0000-0001-5218-0793
- IdRef : 122878108
S. Reynaud
- Function : Author
- PersonId : 445
- IdHAL : serge-reynaud
- ORCID : 0000-0002-1494-696X
- IdRef : 075088924
Yves Jourlin
- Function : Author
- PersonId : 757915
- ORCID : 0000-0002-7935-2150
- IdRef : 060278218