Comparaison entre deux méthodes de caractérisation optique: La spectroscopie des lignes noires et l'ellipsométrie

Issam Gereige; Stéphane Robert; Damien Jamon; Jean Jacques Rousseau; Chadi Nader

Conference papers

Comparaison entre deux méthodes de caractérisation optique: La spectroscopie des lignes noires et l'ellipsométrie

Issam Gereige ¹ Stéphane Robert ¹ Damien Jamon ¹ Jean Jacques Rousseau ¹ Chadi Nader

1 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes

Document type :

Conference papers

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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00292136
Contributor : Damien Jamon <>
Submitted on : Monday, June 30, 2008 - 3:12:29 PM
Last modification on : Thursday, November 21, 2019 - 2:23:15 AM

Comparaison entre deux méthodes de caractérisation optique: La spectroscopie des lignes noires et l'ellipsométrie

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