Comparaison entre deux méthodes de caractérisation optique: La spectroscopie des lignes noires et l'ellipsométrie

Issam Gereige 1 Stéphane Robert 1 Damien Jamon 1 Jean Jacques Rousseau 1 Chadi Nader
1 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes
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Conference papers
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Contributor : Damien Jamon <>
Submitted on : Monday, June 30, 2008 - 3:12:29 PM
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  • HAL Id : ujm-00292136, version 1

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Citation

Issam Gereige, Stéphane Robert, Damien Jamon, Jean Jacques Rousseau, Chadi Nader. Comparaison entre deux méthodes de caractérisation optique: La spectroscopie des lignes noires et l'ellipsométrie. CSM5, May 2006, Beyrouth, Lebanon. ⟨ujm-00292136⟩

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