Multi-level diffractive optical elements produced by excimer laser ablation of sol-gel

Estelle Neiss (1) , Manuel Flury (2) , Loïc Mager (3) , Jean-Luc Rehspringer (3) , Alain Fort (3) , Paul Montgomery (4) , Philippe Gérard (1) , Joël Fontaine (1) , Stéphane Robert (5)

1 LSP - Laboratoire des Systèmes Photoniques
2 LHC - Laboratoire Hubert Curien
3 IPCMS - Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg
4 InESS - Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes
5 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes

Domains: Optics / Photonic

Estelle Neiss, Manuel Flury, Loïc Mager, Jean-Luc Rehspringer, Alain Fort, et al.. Multi-level diffractive optical elements produced by excimer laser ablation of sol-gel. Optics Express, 2008, 16 (18), pp.14044-14056. ⟨ujm-00334979⟩