 |
Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
Multi-level relief structures in sol-gel and photoresist fabricated by laser ablation and analyzed with coherence probe microscopy
Estelle Neiss
1
Manuel Flury
2
Philippe Gérard
1
Loïc Mager
3
Jean-Luc Rehspringer
3
Alain Fort
3
Paul Montgomery
4
Joël Fontaine
1
Thierry Engel
1
Abderrazzaq Benatmane
4
Estelle Neiss 1
Author
Manuel Flury 2
Author
Philippe Gérard 1
Author
Loïc Mager 3
Author IdHAL : loic-mager ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9601-0024
Thierry Engel 1
Author
Abderrazzaq Benatmane 4
Author
1
LSP - Laboratoire des Systèmes Photoniques (Boulevard Sébastien Brant 67412 Strasbourg - France)
2
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
3
IPCMS - Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg (23 rue du Loess - BP 43 - 67034 Strasbourg Cedex 2 - France - France)
- Université Louis Pasteur - Strasbourg I (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7504 (France)
4
InESS - Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes (23, rue du Loess - BP 20 CR 67037 STRASBOURG Cedex 2 - France)
- Université Louis Pasteur - Strasbourg I (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7163 (France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00335240
Contributor : Manuel Flury <>
Submitted on : Tuesday, October 28, 2008 - 6:49:43 PM
Last modification on : Thursday, April 23, 2020 - 2:26:29 PM
Contributor : Manuel Flury <>
Submitted on : Tuesday, October 28, 2008 - 6:49:43 PM
Last modification on : Thursday, April 23, 2020 - 2:26:29 PM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00335240, version 1
Collections
UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | LAHC | IOGS | PARISTECH | UDL | SITE-ALSACE
Citation
Estelle Neiss, Manuel Flury, Philippe Gérard, Loïc Mager, Jean-Luc Rehspringer, et al.. Multi-level relief structures in sol-gel and photoresist fabricated by laser ablation and analyzed with coherence probe microscopy. Applied Surface Science, Elsevier, 2007, 254, pp.1986-1992. ⟨ujm-00335240⟩
Metrics
Record views