Crystallographic properties of magnetron sputtered barium ferrite films

S. Capraro (1) , M. Le Berre (2) , Jean-Pierre Chatelon (1) , B. Bayard (1) , Hélène Joisten (3) , B. Canut (4) , Damien Barbier (2) , J.J. Rousseau (1)

1 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes
2 LPM - Laboratoire de physique de la matière
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 LPMCN - Laboratoire de Physique de la Matière Condensée et Nanostructures

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

S. Capraro, M. Le Berre, Jean-Pierre Chatelon, B. Bayard, Hélène Joisten, et al.. Crystallographic properties of magnetron sputtered barium ferrite films. Materials Science and Engineering: B, 2004, 112 (1), pp.19-24. ⟨10.1016/j.mseb.2004.05.004⟩. ⟨ujm-00356467⟩