S. Capraro 1Author
M. Le Berre 2AuthorPersonId : 173582 IdHAL : martineleberreORCID : 0000-0003-4935-7951IdRef : 084065826
Jean-Pierre Chatelon 1AuthorPersonId : 10094 IdHAL : jean-pierre-chatelonIdRef : 136271499
Hélène Joisten 3AuthorPersonId : 172740 IdHAL : helene-joistenORCID : 0000-0001-8346-8749
B. Bayard 1AuthorPersonId : 10187 IdHAL : bernard-bayard-univ-st-etienne-frORCID : 0000-0002-7294-8226IdRef : 060454253
J.J. Rousseau 1Author
Damien Barbier 2Author
Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics
UNIV-ST-ETIENNE | CEA | CNRS | INSA-LYON | DRT | LETI | INSA-GROUPE | CEA-GRE | UDL