Properties of barium ferrite sputtered films

S. Capraro (1) , M. Le Berre (2) , Jean-Pierre Chatelon (1) , Hélène Joisten (3) , B. Bayard (1) , J.J. Rousseau (1) , Damien Barbier (2)

1 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes
2 LPM - Laboratoire de physique de la matière
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

S. Capraro, M. Le Berre, Jean-Pierre Chatelon, Hélène Joisten, B. Bayard, et al.. Properties of barium ferrite sputtered films. Sensors and Actuators A: Physical , 2004, 113 (3), pp.382-386. ⟨10.1016/j.sna.2004.01.016⟩. ⟨ujm-00356468⟩