Elaboration de couches minces YIG par pulvérisation cathodique RF pour la réalisation de composants hyperfréquences intégrés

T. Boudiar (1) , C. Nader (1) , T. Rouiller (1) , M. Le Berre (2) , Hélène Joisten (3) , M.-F. Blanc-Mignon (1) , Béatrice Payet-Gervy (1) , B. Bayard (1) , J.-J. Rousseau (1)

1 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes
2 LPM - Laboratoire de physique de la matière
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Autre

T. Boudiar, C. Nader, T. Rouiller, M. Le Berre, Hélène Joisten, et al.. Elaboration de couches minces YIG par pulvérisation cathodique RF pour la réalisation de composants hyperfréquences intégrés. Journal de Physique IV Proceedings, 2005, 124, pp.159-163. ⟨ujm-00356635⟩