Elaboration de couches minces YIG par pulvérisation cathodique RF pour la réalisation de composants hyperfréquences intégrés

T. Boudiar 1 C. Nader 1 T. Rouiller 1 M. Le Berre 2 H. Joisten 3 M.-F. Blanc-Mignon 1 Béatrice Payet-Gervy 1 B. Bayard 1 J.-J. Rousseau 1
1 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes
2 LPM - Laboratoire de physique de la matière
3 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information
Document type :
Journal articles
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00356635
Contributor : Béatrice Payet-Gervy <>
Submitted on : Wednesday, January 28, 2009 - 9:59:52 AM
Last modification on : Monday, February 25, 2019 - 4:34:17 PM

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  • HAL Id : ujm-00356635, version 1

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Citation

T. Boudiar, C. Nader, T. Rouiller, M. Le Berre, H. Joisten, et al.. Elaboration de couches minces YIG par pulvérisation cathodique RF pour la réalisation de composants hyperfréquences intégrés. Journal de Physique IV Colloque, 2005, 124, pp.159-163. ⟨ujm-00356635⟩

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