https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00358882 Contributor : Yves JourlinConnect in order to contact the contributor Submitted on : Wednesday, February 4, 2009 - 5:11:52 PM Last modification on : Saturday, June 25, 2022 - 10:50:01 AM
yves Jourlin. Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique. 1ere rencontres recherche-industrie en nanométrologie, Nov 2007, paris, France. ⟨ujm-00358882⟩