Conference Papers
Year : 2007
Yves Jourlin : Connect in order to contact the contributor
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00358882
Submitted on : Wednesday, February 4, 2009-5:11:52 PM
Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:52:51 PM
Dates and versions
Identifiers
- HAL Id : ujm-00358882 , version 1
Cite
Yves Jourlin. Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique. 1ere rencontres recherche-industrie en nanométrologie, Nov 2007, paris, France. ⟨ujm-00358882⟩
27
View
0
Download