Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique

Yves Jourlin 1
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
Document type :
Conference papers
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00358882
Contributor : Yves Jourlin <>
Submitted on : Wednesday, February 4, 2009 - 5:11:52 PM
Last modification on : Wednesday, July 25, 2018 - 2:05:31 PM

Identifiers

  • HAL Id : ujm-00358882, version 1

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UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | LAHC | IOGS | PARISTECH

Citation

Yves Jourlin. Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique. 1ere rencontres recherche-industrie en nanométrologie, Nov 2007, paris, France. ⟨ujm-00358882⟩

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