Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique - Archive ouverte HAL Access content directly
Conference Papers Year : 2007

Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique

Yves Jourlin
  • Function : Author
  • PersonId : 852214
Laboratoire Hubert Curien

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Physics [physics] Physics [physics] Optics [physics.optics]

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Submitted on : Wednesday, February 4, 2009-5:11:52 PM

Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:52:51 PM

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Dates and versions

ujm-00358882 , version 1 (04-02-2009)

Identifiers

  • HAL Id : ujm-00358882 , version 1

Cite

Yves Jourlin. Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique. 1ere rencontres recherche-industrie en nanométrologie, Nov 2007, paris, France. ⟨ujm-00358882⟩

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