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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
Recognition of diffraction-grating profile using a neural network classifier in optical scatterometry
Issam Gereige
1
Stéphane Robert
1, 2, *
Sylvie Thiria
3
Fouad Badran
4, 5
Gérard Granet
6
J.J. Rousseau
1
*
Corresponding author
3
MMSA - Modélisation et Méthodes Statistiques Avancées
LOCEAN - Laboratoire d'Océanographie et du Climat : Expérimentations et Approches Numériques
Issam Gereige 1
Author
Stéphane Robert 1, 2
Correspondent author IdHAL : stephane-robert
Sylvie Thiria 3
Author
Fouad Badran 4, 5
Author
Gérard Granet 6
Author
J.J. Rousseau 1
Author
1
DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes (France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] : EA3523 (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
2
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
3
MMSA - Modélisation et Méthodes Statistiques Avancées (France)
- LOCEAN - Laboratoire d'Océanographie et du Climat : Expérimentations et Approches Numériques (4 place Jussieu - case 100 - 75252 PARIS CEDEX 05 ; Institut de Recherche pour le Développement Centre de recherche d'Ile-de-France - 32, avenue Henri Varagnat - 93143 Bondy Cedex
- France)
- IRD - Institut de Recherche pour le Développement (Siège Le Sextant 44, bd de Dunkerque CS 90009 13572 Marseille cedex 02 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7159 (France)
- INSU - CNRS - Institut national des sciences de l'Univers (INSU-CNRS 3 rue Michel-Ange, 75794 Paris Cedex 16 - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 : UM71 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- MNHN - Muséum national d'Histoire naturelle : USM402 (57, rue Cuvier - 75231 Paris Cedex 05 - France)
- IPSL (FR_636) - Institut Pierre-Simon-Laplace (4 Place Jussieu 75252 PARIS CEDEX 05 - France)
- ENS Paris - École normale supérieure - Paris (45, Rue d'Ulm - 75230 Paris cedex 05 - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- UVSQ - Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines (55 avenue de Paris - 78035 Versailles cedex - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- INSU - CNRS - Institut national des sciences de l'Univers (INSU-CNRS 3 rue Michel-Ange, 75794 Paris Cedex 16 - France)
- UPD7 - Université Paris Diderot - Paris 7 : FR_636 (5 rue Thomas-Mann - 75205 Paris cedex 13 - France)
- X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France)
- CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse] (18 avenue Edouard Belin 31401 Toulouse - France)
- SU - Sorbonne Université (21 rue de l’École de médecine - 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : FR_636 (France)
- ENS Paris - École normale supérieure - Paris (45, Rue d'Ulm - 75230 Paris cedex 05 - France)
4
LOCEAN - Laboratoire d'Océanographie et du Climat : Expérimentations et Approches Numériques (4 place Jussieu - case 100 - 75252 PARIS CEDEX 05 ; Institut de Recherche pour le Développement Centre de recherche d'Ile-de-France - 32, avenue Henri Varagnat - 93143 Bondy Cedex
- France)
- IRD - Institut de Recherche pour le Développement (Siège Le Sextant 44, bd de Dunkerque CS 90009 13572 Marseille cedex 02 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7159 (France)
- INSU - CNRS - Institut national des sciences de l'Univers (INSU-CNRS 3 rue Michel-Ange, 75794 Paris Cedex 16 - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 : UM71 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- MNHN - Muséum national d'Histoire naturelle : USM402 (57, rue Cuvier - 75231 Paris Cedex 05 - France)
- IPSL (FR_636) - Institut Pierre-Simon-Laplace (4 Place Jussieu 75252 PARIS CEDEX 05 - France)
- ENS Paris - École normale supérieure - Paris (45, Rue d'Ulm - 75230 Paris cedex 05 - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- UVSQ - Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines (55 avenue de Paris - 78035 Versailles cedex - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- INSU - CNRS - Institut national des sciences de l'Univers (INSU-CNRS 3 rue Michel-Ange, 75794 Paris Cedex 16 - France)
- UPD7 - Université Paris Diderot - Paris 7 : FR_636 (5 rue Thomas-Mann - 75205 Paris cedex 13 - France)
- X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France)
- CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse] (18 avenue Edouard Belin 31401 Toulouse - France)
- SU - Sorbonne Université (21 rue de l’École de médecine - 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : FR_636 (France)
- ENS Paris - École normale supérieure - Paris (45, Rue d'Ulm - 75230 Paris cedex 05 - France)
5
CEDRIC - Centre d'études et de recherche en informatique et communications (292 rue Saint-Martin
75141 PARIS Cedex 03
Case courrier 2D4P30 - France)
- ENSIIE - Ecole Nationale Supérieure d'Informatique pour l'Industrie et l'Entreprise : EA4629 (France)
- CNAM - Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] : EA4629 (France)
6
LASMEA - Laboratoire des sciences et matériaux pour l'électronique et d'automatique (24 Av des landais 63177 AUBIERE CEDEX - France)
- UBP - Université Blaise Pascal - Clermont-Ferrand 2 (34, avenue Carnot - BP 185 / 63006 Clermont-Ferrand cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : URA 1793 (France)
Abstract : Optical scatterometry has been given much credit during the past few years in the semiconductor industry. The geometry of an optical diffracted structure is deduced from the scattered intensity by solving an inverse problem. This step always requires a previously defined geometrical model. We develop an artificial neural network classifier whose purpose is to identify the structural geometry of a diffraction grating from its measured ellipsometric signature. This will take place before the characterization stage. Two types of geometry will be treated: sinusoidal and symmetric trapezoidal. Experimental results are performed on two manufactured samples: a sinusoidal photoresist grating deposited on a glass substrate and a trapezoidal grating etched on a SiO2 substrate with periods of 2 m and 0.565 m, respectively.
Document type :
Journal articles
Complete list of metadata
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00365377
Contributor : Stéphane Robert <>
Submitted on : Tuesday, March 3, 2009 - 12:01:51 PM
Last modification on : Wednesday, April 21, 2021 - 8:34:02 AM
Contributor : Stéphane Robert <>
Submitted on : Tuesday, March 3, 2009 - 12:01:51 PM
Last modification on : Wednesday, April 21, 2021 - 8:34:02 AM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00365377, version 1
- DOI : 10.1364/JOSAA.25.001661
- WOS : 000257928000022
Collections
UNIV-ST-ETIENNE | INSU | CNRS | UPMC | LOCEAN | PRES_CLERMONT | CNAM | SORBONNE-UNIVERSITE | CEDRIC-CNAM | PARISTECH | IOGS | MNHN | SU-SCIENCES | UDL | PSL | ENS-PARIS | CEA | X | FR-636 | UNIV-PARIS7 | UP-SCIENCES | UVSQ | UNIV-PARIS | USPC
Citation
Issam Gereige, Stéphane Robert, Sylvie Thiria, Fouad Badran, Gérard Granet, et al.. Recognition of diffraction-grating profile using a neural network classifier in optical scatterometry. Journal of the Optical Society of America. A Optics, Image Science, and Vision, Optical Society of America, 2008, 25 (7), pp.1661-1667. ⟨10.1364/JOSAA.25.001661⟩. ⟨ujm-00365377⟩
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