Optimal architecture of a neural network for a high precision in ellipsometric scatterometry - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Optimal architecture of a neural network for a high precision in ellipsometric scatterometry

Domaines

Réseau de neurones [cs.NE] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Stéphane Robert  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://ujm.hal.science/ujm-00365392

Soumis le : mardi 3 mars 2009-13:16:49

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:51

Fichier non déposé

Dates et versions

ujm-00365392 , version 1 (03-03-2009)

Identifiants

Citer

Issam Gereige, Stéphane Robert, Gérard Granet. Optimal architecture of a neural network for a high precision in ellipsometric scatterometry. Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing, Aug 2007, San Diego, United States. pp.66480G-1 - 66480G-11, ⟨10.1117/12.734278⟩. ⟨ujm-00365392⟩

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