Fabrication de réseaux de période sub-micrométrique et de haut indice à partir d'une couche mince HfO2-SiO2 photosensible synthétisée par voie sol-gel

J. Franc; E. Gamet; M. Lesage; D. Jamon; Francis Vocanson; Y. Jourlin

Conference papers

Fabrication de réseaux de période sub-micrométrique et de haut indice à partir d'une couche mince HfO2-SiO2 photosensible synthétisée par voie sol-gel

J. Franc ¹ E. Gamet ^{1, *} M. Lesage ¹ D. Jamon ² Francis Vocanson ¹ Y. Jourlin ¹

* Corresponding author

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes

Document type :

Conference papers

Domain :

Chemical Sciences / Material chemistry

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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00374906
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Friday, April 10, 2009 - 11:31:26 AM
Last modification on : Monday, January 13, 2020 - 5:46:03 PM

Fabrication de réseaux de période sub-micrométrique et de haut indice à partir d'une couche mince HfO2-SiO2 photosensible synthétisée par voie sol-gel

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