Fabrication de réseaux de période sub-micrométrique et de haut indice à partir d'une couche mince HfO2-SiO2 photosensible synthétisée par voie sol-gel

J. Franc (1) , E. Gamet (1) , M. Lesage (1) , D. Jamon (2) , Francis Vocanson (1) , Y. Jourlin (1)

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien
2 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes

Domaines: Matériaux

J. Franc, E. Gamet, M. Lesage, D. Jamon, Francis Vocanson, et al.. Fabrication de réseaux de période sub-micrométrique et de haut indice à partir d'une couche mince HfO2-SiO2 photosensible synthétisée par voie sol-gel. 7ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes, 2008, Villeurbanne, France. ⟨ujm-00374906⟩