Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
Yannick Bourgin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://ujm.hal.science/ujm-00477277
Soumis le : mercredi 28 avril 2010-15:36:04
Dernière modification le : mercredi 20 septembre 2023-13:10:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : ujm-00477277 , version 1
Citer
Yannick Bourgin, Yves Jourlin, Olivier Parriaux, Svetlen Tonchev, Anne Talneau, et al.. 100 nm period grating writing by high index phase mask immersion lithography. 35th Micro Nano Engineering (MNE), Sep 2009, Gand, Belgium. pp.P-LITH-51. ⟨ujm-00477277⟩
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