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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
100 nm period grating by high-index phase-mask immersion lithography
Yannick Bourgin
1
Yves Jourlin
1
Olivier Parriaux
1
Anne Talneau
2
Svetlen Tonchev
1, 3
Colette Veillas
1
P. Karvinen
4
Nicolas Passilly
5
Ahmad Md Zain
6
R.M. de la Rue
7
Jurgen van Erps
8
David Troadec
9
1
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
2
LPN - Laboratoire de photonique et de nanostructures (Route de Nozay 91460 MARCOUSSIS - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR20 (France)
3
ISSP - Institut of the Solid State Physics (72 Tzarigradsko Chaussee Blud 1784 Sofia - Bulgaria)
- BAS - Bulgarian Academy of Sciences (15th November #1 str, Sofia, 1040 - Bulgaria)
4
JOE - University of Joensuu, Department of Physics and Mathematics (France)
- University of Joensuu (Finland)
5
FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (32 avenue de l'Observatoire 25044 BESANCON CEDEX - France)
- UTBM - Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (France)
- ENSMM - Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques 26, rue de l'épitaphe CS 51813 25030 BESANÇON CEDEX - FRANCE - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6174 (France)
- UFC - Université de Franche-Comté (1 rue Goudimel 25030 Besançon cedex - France)
6
Photonics Research Group, Centre for Communication, (Department of Electrical and Electronic Engineering, Queen's Building Bristol BS8 1TR, UK - United Kingdom)
- University of Bristol [Bristol] (Senate House, Tyndall Avenue, Bristol BS8 1TH - United Kingdom)
7
Dpt of Electronics & Electrical Engineering (United Kingdom)
- University of Glasgow (Glasgow G12 8QQ Scotland - United Kingdom)
8
TONA - Department of Applied Physics and Photonics [Brussels] (VUB - Campus Etterbeek Pleinlaan, 2 1050 Brussel - Belgium)
- VUB - Vrije Universiteit Brussel (Pleinlaan 2, 1050 Brussel - Belgium)
9
IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France)
- Ecole Centrale de Lille (Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France)
- Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN) (France)
- UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
- Université de Lille (Lille - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520 (France)
- UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00481902
Contributor : Yannick Bourgin <>
Submitted on : Friday, May 7, 2010 - 3:20:52 PM
Last modification on : Tuesday, October 27, 2020 - 2:34:17 PM
Contributor : Yannick Bourgin <>
Submitted on : Friday, May 7, 2010 - 3:20:52 PM
Last modification on : Tuesday, October 27, 2020 - 2:34:17 PM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00481902, version 1
Collections
UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | UNIV-BM | UNIV-FCOMTE | FEMTO-ST | LAHC | UNIV-BM-THESE | UNIV-LILLE | PARISTECH | UNIV-VALENCIENNES | IOGS | UDL
Citation
Yannick Bourgin, Yves Jourlin, Olivier Parriaux, Anne Talneau, Svetlen Tonchev, et al.. 100 nm period grating by high-index phase-mask immersion lithography. Optics Express, Optical Society of America - OSA Publishing, 2010, 18 (10), pp.10557-10566. ⟨ujm-00481902⟩
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