Dépôt de couches minces par ablation laser femtoseconde et nanoseconde : corrélation avec les propriétés du plasma

Florence Garrelie (1) , Aurélien Sikora (1) , Matthieu Guillermin (1) , A.-S. Loir (1) , Christophe Donnet (1) , Jean-Philippe Colombier (1) , Razvan Stoian (1)

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien

Domains: Engineering Sciences [physics]; Optics / Photonic

Florence Garrelie, Aurélien Sikora, Matthieu Guillermin, A.-S. Loir, Christophe Donnet, et al.. Dépôt de couches minces par ablation laser femtoseconde et nanoseconde : corrélation avec les propriétés du plasma. UVX 2010 10ème Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV, et X : Applications et développements Récents, Sep 2010, Porquerolles, France. ⟨ujm-00549332⟩