Dépôt de couches minces par ablation laser femtoseconde et nanoseconde : corrélation avec les propriétés du plasma

Florence Garrelie 1 Aurélien Sikora 1 Matthieu Guillermin 1 A.-S. Loir 1 Christophe Donnet 1 Jean-Philippe Colombier 1 Razvan Stoian 1
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
Document type :
Conference papers
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00549332
Contributor : Florence Garrelie <>
Submitted on : Tuesday, December 21, 2010 - 5:18:40 PM
Last modification on : Tuesday, November 19, 2019 - 10:36:57 AM

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  • HAL Id : ujm-00549332, version 1

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UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | LAHC | IOGS | PARISTECH

Citation

Florence Garrelie, Aurélien Sikora, Matthieu Guillermin, A.-S. Loir, Christophe Donnet, et al.. Dépôt de couches minces par ablation laser femtoseconde et nanoseconde : corrélation avec les propriétés du plasma. UVX 2010 10ème Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV, et X : Applications et développements Récents, Sep 2010, Porquerolles, France. ⟨ujm-00549332⟩

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