Holographic exposure of subwavelength circular gratings using a cone based interferogram

Jean Sauvage-Vincent 1 S. Tonchev 1 Yves Jourlin 1 O. Parriaux 1
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
Type de document :
Communication dans un congrès
SPIE Photonics Europe 2012, Belgique (2012), Apr 2012, France. pp.84280, 2012, 〈10.1117/12.921863〉
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00707404
Contributeur : Yves Jourlin <>
Soumis le : mardi 12 juin 2012 - 15:52:00
Dernière modification le : mercredi 25 juillet 2018 - 14:05:30

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UNIV-ST-ETIENNE | LAHC | IOGS | PARISTECH

Citation

Jean Sauvage-Vincent, S. Tonchev, Yves Jourlin, O. Parriaux. Holographic exposure of subwavelength circular gratings using a cone based interferogram. SPIE Photonics Europe 2012, Belgique (2012), Apr 2012, France. pp.84280, 2012, 〈10.1117/12.921863〉. 〈ujm-00707404〉

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