New industrial and innovative writing machine for the fabrication of sol-gel TiO2 based sub-micrometric period diffraction gratings.

V. Gâté; Gérard Bernaud; C. Veillas; A. Cazier; Yves Jourlin; Michel Langlet; Francis Vocanson; P. Coudray

doi:10.1117/12.921214

New industrial and innovative writing machine for the fabrication of sol-gel TiO2 based sub-micrometric period diffraction gratings.

V. Gâté ^{1, 2, *} Gérard Bernaud ¹ C. Veillas ¹ A. Cazier ¹ Yves Jourlin ¹ Michel Langlet ² Francis Vocanson ¹ P. Coudray ³

* Auteur correspondant

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

3 KLOE SA - KLOE

Type de document :

Article dans une revue

SPIE, 2012, 8428, pp.84281B. 〈10.1117/12.921214〉

Domaine :

Chimie / Matériaux

Physique [physics] / Physique [physics] / Optique [physics.optics]

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00707708
Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mercredi 13 juin 2012 - 12:20:45
Dernière modification le : mardi 20 février 2018 - 01:10:11

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