Hydrogenated amorphous silicon microstructuring for 0th order polarization elements at 1.0µm-1.1µm wavelength

Thomas Kampfe 1 S. Tonchev 1 G. Gomard 2 C. Seassal 2 O. Parriaux 1
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
2 INL - Photonique - INL - Nanophotonique
INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
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Article dans une revue
IEEE Photonics Journal, Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2011, 3 (6), pp.1142 - 1148. 〈10.1109/JPHOT.2011.2175444〉
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00710928
Contributeur : Yves Jourlin <>
Soumis le : vendredi 22 juin 2012 - 08:30:06
Dernière modification le : samedi 6 octobre 2018 - 10:36:06

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Thomas Kampfe, S. Tonchev, G. Gomard, C. Seassal, O. Parriaux. Hydrogenated amorphous silicon microstructuring for 0th order polarization elements at 1.0µm-1.1µm wavelength. IEEE Photonics Journal, Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2011, 3 (6), pp.1142 - 1148. 〈10.1109/JPHOT.2011.2175444〉. 〈ujm-00710928〉

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