Fabrication of (sub)wavelength resonant DOEs: a come-back of wet etching

Type de document :
Communication dans un congrès
8th EOS Topical Meeting on Diffractive Optics 2012 (DO 2012), Feb 2012, Netherlands. 2012
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Contributeur : Yves Jourlin <>
Soumis le : vendredi 22 juin 2012 - 11:02:03
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:20:34

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00711014, version 1

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Citation

S. Tonchev, O. Parriaux, Thomas Kampfe. Fabrication of (sub)wavelength resonant DOEs: a come-back of wet etching. 8th EOS Topical Meeting on Diffractive Optics 2012 (DO 2012), Feb 2012, Netherlands. 2012. 〈ujm-00711014〉

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