Fabrication of (sub)wavelength resonant DOEs: a come-back of wet etching

Type de document :
Communication dans un congrès
8th EOS Topical Meeting on Diffractive Optics 2012 (DO 2012), Feb 2012, Netherlands. 2012
Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00711014
Contributeur : Yves Jourlin <>
Soumis le : vendredi 22 juin 2012 - 11:02:03
Dernière modification le : mercredi 25 juillet 2018 - 14:05:30

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00711014, version 1

Collections

Citation

S. Tonchev, O. Parriaux, Thomas Kampfe. Fabrication of (sub)wavelength resonant DOEs: a come-back of wet etching. 8th EOS Topical Meeting on Diffractive Optics 2012 (DO 2012), Feb 2012, Netherlands. 2012. 〈ujm-00711014〉

Partager

Métriques

Consultations de la notice

59