Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties

Vanda Godinho; Damien Jamon; T. C. Rojas; J. Garcia-Lopez; Arnaud Fernandez

Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties

Vanda Godinho ^{1, 2} Damien Jamon ³ T. C. Rojas ¹ J. Garcia-Lopez Arnaud Fernandez

1 ICMSE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla

2 Faculté des Sciences appliquées [Bruxelles]

3 LT2C - Laboratoire Telecom Claude Chappe

Type de document :

Communication dans un congrès

E-MRS 2012 SPRING MEETING, May 2012, Strasbourg, France

Domaine :

Physique [physics] / Matière Condensée [cond-mat] / Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00735329
Contributeur : Damien Jamon <>
Soumis le : mardi 25 septembre 2012 - 15:54:41
Dernière modification le : mercredi 19 décembre 2018 - 14:12:02

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