Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties

Type de document :
Communication dans un congrès
E-MRS 2012 SPRING MEETING, May 2012, Strasbourg, France
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Contributeur : Damien Jamon <>
Soumis le : mardi 25 septembre 2012 - 15:54:41
Dernière modification le : dimanche 15 octobre 2017 - 22:44:13

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  • HAL Id : ujm-00735329, version 1

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Citation

Vanda Godinho, Damien Jamon, T. C. Rojas, J. Garcia-Lopez, Arnaud Fernandez. Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties. E-MRS 2012 SPRING MEETING, May 2012, Strasbourg, France. 〈ujm-00735329〉

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