Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties

Vanda Godinho; J. Caballero-Hernandez; Damien Jamon; T. C. Rojas; R. Schierholz; J. Garcia-Lopez; F. J. Ferrer; Arnaud Fernandez

Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties

(1, 2) , , (3) , (1) , , , ,

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2
3

Vanda Godinho

Fonction : Auteur

Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla

Faculté des Sciences appliquées [Bruxelles]

J. Caballero-Hernandez

Fonction : Auteur

Damien Jamon

Fonction : Auteur
PersonId : 10027
IdHAL : damien-jamon
ORCID : 0000-0001-5218-0793
IdRef : 122878108

Laboratoire Telecom Claude Chappe

CV

T. C. Rojas

Fonction : Auteur

Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla

R. Schierholz

Fonction : Auteur

J. Garcia-Lopez

Fonction : Auteur

F. J. Ferrer

Fonction : Auteur

Arnaud Fernandez

Fonction : Auteur

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Damien Jamon : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://ujm.hal.science/ujm-00735361

Soumis le : mardi 25 septembre 2012-16:14:44

Dernière modification le : vendredi 12 avril 2024-18:32:05

Dates et versions

ujm-00735361 , version 1 (25-09-2012)

Identifiants

HAL Id : ujm-00735361 , version 1

Citer

Vanda Godinho, J. Caballero-Hernandez, Damien Jamon, T. C. Rojas, R. Schierholz, et al.. Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties. European Conference on Nanofilms ECNF 2012, Jun 2012, Ancona, Italy. ⟨ujm-00735361⟩

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