Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties

Type de document :
Communication dans un congrès
European Conference on Nanofilms ECNF 2012, Jun 2012, Ancona, Italy
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00735361
Contributeur : Damien Jamon <>
Soumis le : mardi 25 septembre 2012 - 16:14:44
Dernière modification le : mercredi 19 décembre 2018 - 14:12:02

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00735361, version 1

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Citation

Vanda Godinho, J. Caballero-Hernandez, Damien Jamon, T. C. Rojas, R. Schierholz, et al.. Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties. European Conference on Nanofilms ECNF 2012, Jun 2012, Ancona, Italy. 〈ujm-00735361〉

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