Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties

Vanda Godinho; J. Caballero-Hernandez; Damien Jamon; T. C. Rojas; R. Schierholz; J. Garcia-Lopez; F. J. Ferrer; Arnaud Fernandez

Magnetron sputtered amorphous silicon films with closed porosity: microstructure and optical properties

Vanda Godinho ^{1, 2} J. Caballero-Hernandez Damien Jamon ³ T. C. Rojas ¹ R. Schierholz J. Garcia-Lopez F. J. Ferrer Arnaud Fernandez

1 ICMSE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla

2 Faculté des Sciences appliquées [Bruxelles]

3 LT2C - Laboratoire Telecom Claude Chappe

Type de document :

Communication dans un congrès

European Conference on Nanofilms ECNF 2012, Jun 2012, Ancona, Italy

Domaine :

Physique [physics] / Matière Condensée [cond-mat] / Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00735361
Contributeur : Damien Jamon <>
Soumis le : mardi 25 septembre 2012 - 16:14:44
Dernière modification le : dimanche 15 octobre 2017 - 22:44:13

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