Direct nanopatterning of 100 nm metal oxide periodic structures by Deep-UV immersion lithography

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Opt. Lett., 2012, 37 (22), pp.4651-4653
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Contributeur : Yves Jourlin <>
Soumis le : mercredi 7 novembre 2012 - 22:15:48
Dernière modification le : mercredi 25 juillet 2018 - 14:05:31

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  • HAL Id : ujm-00749634, version 1

Citation

Fabrice Stehlin, Y. Bourgin, Arnaud Spangenberg, Yves Jourlin, O. Parriaux, et al.. Direct nanopatterning of 100 nm metal oxide periodic structures by Deep-UV immersion lithography. Opt. Lett., 2012, 37 (22), pp.4651-4653. 〈ujm-00749634〉

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