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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
Direct nanopatterning of 100 nm metal oxide periodic structures by Deep-UV immersion lithography
Fabrice Stehlin
1
Y. Bourgin
2
Arnaud Spangenberg
1
Yves Jourlin
2
O. Parriaux
2
Stéphanie Reynaud
2
Fernand Wieder
1
Olivier Soppera
1
O. Parriaux 2
Author
Stéphanie Reynaud 2
Author
Fernand Wieder 1
Author
Olivier Soppera 1
Author IdHAL : olivier-soppera ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5250-2254
1
IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse (4, rue des frères Lumière 68093 Mulhouse Cedex, France - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR7228 (France)
2
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00749634
Contributor : Yves Jourlin <>
Submitted on : Wednesday, November 7, 2012 - 10:15:48 PM
Last modification on : Tuesday, November 10, 2020 - 12:12:04 AM
Contributor : Yves Jourlin <>
Submitted on : Wednesday, November 7, 2012 - 10:15:48 PM
Last modification on : Tuesday, November 10, 2020 - 12:12:04 AM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00749634, version 1
Collections
UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | LAHC | SITE-ALSACE | IOGS | PARISTECH | UDL
Citation
Fabrice Stehlin, Y. Bourgin, Arnaud Spangenberg, Yves Jourlin, O. Parriaux, et al.. Direct nanopatterning of 100 nm metal oxide periodic structures by Deep-UV immersion lithography. Opt. Lett., 2012, 37 (22), pp.4651-4653. ⟨ujm-00749634⟩
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