Phase mask based cylindrical projection lithography for grating printing at the wall of a cylinder

Type de document :
Communication dans un congrès
38th International Conference on Micro and Nano Engineering, Sep 2012, Toulouse, France. 2012
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Contributeur : Yves Jourlin <>
Soumis le : jeudi 8 novembre 2012 - 08:15:25
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:20:35

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00749646, version 1

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Citation

Yves Jourlin, S. Tonchev, C. Veillas, O. Parriaux, J. Laukkanen. Phase mask based cylindrical projection lithography for grating printing at the wall of a cylinder. 38th International Conference on Micro and Nano Engineering, Sep 2012, Toulouse, France. 2012. 〈ujm-00749646〉

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