Phase mask based cylindrical projection lithography for grating printing at the wall of a cylinder - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Phase mask based cylindrical projection lithography for grating printing at the wall of a cylinder

Yves Jourlin
Laboratoire Hubert Curien
S. Tonchev
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Hubert Curien
C. Veillas
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Hubert Curien
O. Parriaux
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Hubert Curien
J. Laukkanen
  • Fonction : Auteur
University of Eastern Finland

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Yves Jourlin  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://ujm.hal.science/ujm-00749646

Soumis le : jeudi 8 novembre 2012-08:15:25

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:56

Fichier non déposé

Dates et versions

ujm-00749646 , version 1 (08-11-2012)

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00749646 , version 1

Citer

Yves Jourlin, S. Tonchev, C. Veillas, O. Parriaux, J. Laukkanen. Phase mask based cylindrical projection lithography for grating printing at the wall of a cylinder. 38th International Conference on Micro and Nano Engineering, Sep 2012, Toulouse, France. ⟨ujm-00749646⟩

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