Communication Dans Un Congrès
Année : 2012
Yves Jourlin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://ujm.hal.science/ujm-00749646
Soumis le : jeudi 8 novembre 2012-08:15:25
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:56
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : ujm-00749646 , version 1
Citer
Yves Jourlin, S. Tonchev, C. Veillas, O. Parriaux, J. Laukkanen. Phase mask based cylindrical projection lithography for grating printing at the wall of a cylinder. 38th International Conference on Micro and Nano Engineering, Sep 2012, Toulouse, France. ⟨ujm-00749646⟩
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