Fast Dynamic Interferometric Lithography for fabricating large sub-micron period diffraction gratings.

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Article dans une revue
Optical Engineering, SPIE, 2013, 52 (9), pp.091712
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Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mardi 26 mars 2013 - 12:28:31
Dernière modification le : mardi 20 février 2018 - 01:10:10

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  • HAL Id : ujm-00804789, version 1

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Citation

V. Gâté, Gérard Bernaud, C. Veillas, A. Cazier, Francis Vocanson, et al.. Fast Dynamic Interferometric Lithography for fabricating large sub-micron period diffraction gratings.. Optical Engineering, SPIE, 2013, 52 (9), pp.091712. 〈ujm-00804789〉

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