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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
Sub-micrometric patterns written using a DIL method coupled to a TiO2 photo-resist.
V. Gâté
1, 2
Yves Jourlin
1
Francis Vocanson
1
O. Dellea
3
G. Vercasson
1
S. Reynaud
1
D. Riassetto
2
Michel Langlet
2, *
G. Vercasson 1
Author
S. Reynaud 1
Author IdHAL : serge-reynaud arXiv : https://arxiv.org/a/reynaud_s_1 ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/J-8061-2014 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1494-696X
D. Riassetto 2
Author
Michel Langlet 2
Correspondent author IdHAL : michel-langlet
1
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
2
LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique (Grenoble INP Minatec - 3 parvis Louis Néel - CS 50257- 38016 Grenoble Cedex 1 - France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5628 (France)
3
LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux (France)
- INES - Institut National de L'Energie Solaire (Parc Technologique de Savoie Technolac 50 Av. du Lac Léman, Bâtiment Lynx - BP 332 F-73377 Le Bourget-du-Lac cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
- USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT/LITEN (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
Document type :
Journal articles
Complete list of metadata
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00842557
Contributor : Francis Vocanson Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, July 8, 2013 - 5:12:42 PM
Last modification on : Monday, December 13, 2021 - 9:42:15 AM
Contributor : Francis Vocanson Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, July 8, 2013 - 5:12:42 PM
Last modification on : Monday, December 13, 2021 - 9:42:15 AM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00842557, version 1
- DOI : 10.1016/j.optmat.2013.05.010
Collections
Citation
V. Gâté, Yves Jourlin, Francis Vocanson, O. Dellea, G. Vercasson, et al.. Sub-micrometric patterns written using a DIL method coupled to a TiO2 photo-resist.. Optical Materials, Elsevier, 2013, 35, pp.1706. ⟨10.1016/j.optmat.2013.05.010⟩. ⟨ujm-00842557⟩
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