Sub-micrometric patterns written using a DIL method coupled to a TiO2 photo-resist.
V. Gâté
(1, 2)
,
Yves Jourlin
(1)
,
Francis Vocanson
(1)
,
O. Dellea
(3)
,
G. Vercasson
(1)
,
S. Reynaud
(1)
,
D. Riassetto
(2)
,
Michel Langlet
(2)
V. Gâté
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- PersonId : 905341
Yves Jourlin
- Function : Author
- PersonId : 852214
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- IdRef : 060278218
S. Reynaud
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- IdHAL : serge-reynaud
- ORCID : 0000-0002-1494-696X
- IdRef : 075088924
Michel Langlet
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