2N Period submicron grating at the inner wall of a metal cylinder

H. Hirshy 1 S. G. Scholz 2 Yves Jourlin 3 S. Tonchev 3 S. Reynaud 3 A. Boukenter 3 O. Parriaux
1 School of engineering, cardiff University,
2 KIT - Karlsruhe Institute of Technology
3 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
Type de document :
Article dans une revue
Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2013, 〈10.1007/s00542-013-1949-y〉
Liste complète des métadonnées
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00917103
Contributeur : Yves Jourlin <>
Soumis le : mercredi 11 décembre 2013 - 12:21:33
Dernière modification le : mercredi 25 juillet 2018 - 14:05:30

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H. Hirshy, S. G. Scholz, Yves Jourlin, S. Tonchev, S. Reynaud, et al.. 2N Period submicron grating at the inner wall of a metal cylinder. Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2013, 〈10.1007/s00542-013-1949-y〉. 〈ujm-00917103〉

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