Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod; V. Gâté; Yves Jourlin; Michel Langlet; Francis Vocanson

Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod ^{1, 2} V. Gâté ^{1, 2} Yves Jourlin ¹ Michel Langlet ^{2, *} Francis Vocanson ¹

* Corresponding author

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

Document type :

Conference papers

Domain :

Chemical Sciences / Material chemistry

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Complete list of metadatas

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00990692
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Tuesday, May 13, 2014 - 7:18:04 PM
Last modification on : Wednesday, July 25, 2018 - 2:05:31 PM

Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Identifiers

Collections

Citation

Export

Metrics

130

Contact

Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Identifiers

Collections

Citation

Export

Share

Metrics

130

Contact