Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod; V. Gâté; Yves Jourlin; Michel Langlet; Francis Vocanson

Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod ^{1, 2} V. Gâté ^{1, 2} Yves Jourlin ¹ Michel Langlet ^{2, *} Francis Vocanson ¹

* Auteur correspondant

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

Type de document :

Communication dans un congrès

Journées Sol-Gel 2014, May 2014, Tours, France

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Optique / photonique

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00990692
Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mardi 13 mai 2014 - 19:18:04
Dernière modification le : mardi 20 février 2018 - 01:10:05

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