Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Type de document :
Communication dans un congrès
Journées Sol-Gel 2014, May 2014, Tours, France
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00990692
Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mardi 13 mai 2014 - 19:18:04
Dernière modification le : mercredi 25 juillet 2018 - 14:05:31

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  • HAL Id : ujm-00990692, version 1

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Citation

Loic Berthod, V. Gâté, Yves Jourlin, Michel Langlet, Francis Vocanson. Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique. Journées Sol-Gel 2014, May 2014, Tours, France. 〈ujm-00990692〉

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