Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod; V. Gâté; Yves Jourlin; Michel Langlet; Francis Vocanson

Conference Papers Year :

Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

(1, 2) , (1, 2) , (1) , (2) , (1)

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Loic Berthod

Function : Author

Laboratoire Hubert Curien

Laboratoire des matériaux et du génie physique

V. Gâté

Function : Author
PersonId : 905341

Laboratoire Hubert Curien

Laboratoire des matériaux et du génie physique

Yves Jourlin

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PersonId : 852214
ORCID : 0000-0002-7935-2150
IdRef : 060278218

Laboratoire Hubert Curien

Michel Langlet

Function : Correspondent author
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IdHAL : michel-langlet

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Laboratoire des matériaux et du génie physique

Francis Vocanson

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Laboratoire Hubert Curien

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Material chemistry Optics / Photonic

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Submitted on : Tuesday, May 13, 2014-7:18:04 PM

Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:52:58 PM

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ujm-00990692 , version 1 (13-05-2014)

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Loic Berthod, V. Gâté, Yves Jourlin, Michel Langlet, Francis Vocanson. Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique. Journées Sol-Gel 2014, May 2014, Tours, France. ⟨ujm-00990692⟩

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