Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod; V. Gâté; yves Jourlin; Michel Langlet; Francis Vocanson

Conference papers

Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod ^{1, 2} V. Gâté ^{1, 2} yves Jourlin ¹ Michel Langlet ^{2, *} Francis Vocanson ¹

* Corresponding author

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

Document type :

Conference papers

Domain :

Chemical Sciences / Material chemistry

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00990692
Contributor : Francis Vocanson Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, May 13, 2014 - 7:18:04 PM
Last modification on : Saturday, June 25, 2022 - 10:54:52 AM

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