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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Conference papers
Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique
Loic Berthod 1, 2
Author
V. Gâté 1, 2
Author
Yves Jourlin 1
Author
Michel Langlet 2
Correspondent author
Francis Vocanson 1
Author
1
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
2
LMGP [?-2019] - Laboratoire des matériaux et du génie physique [?-2019] (Grenoble INP Minatec - 3 parvis Louis Néel - CS 50257- 38016 Grenoble Cedex 1 - France)
- Grenoble INP [2007-2019] - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology [2007-2019] (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5628 (France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00990692
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Tuesday, May 13, 2014 - 7:18:04 PM
Last modification on : Monday, July 20, 2020 - 10:06:03 AM
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Tuesday, May 13, 2014 - 7:18:04 PM
Last modification on : Monday, July 20, 2020 - 10:06:03 AM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00990692, version 1
Citation
Loic Berthod, V. Gâté, Yves Jourlin, Michel Langlet, Francis Vocanson. Couches sol‐gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique. Journées Sol-Gel 2014, May 2014, Tours, France. ⟨ujm-00990692⟩
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