2N Period submicron grating at the inner wall of a metal cylinder

H. Hirshy 1 S. G. Scholz 2 Yves Jourlin 3 S. Tonchev 3 S. Reynaud 3 A. Boukenter 3 O. Parriaux 3
1 School of engineering, cardiff University,
2 KIT - Karlsruhe Institute of Technology
3 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
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Article dans une revue
Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2014, 20 (10), pp.1432-1858. 〈10.1007/s00542-013-1949-y〉
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01069222
Contributeur : Yves Jourlin <>
Soumis le : lundi 29 septembre 2014 - 08:46:27
Dernière modification le : mercredi 25 juillet 2018 - 14:05:31

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Citation

H. Hirshy, S. G. Scholz, Yves Jourlin, S. Tonchev, S. Reynaud, et al.. 2N Period submicron grating at the inner wall of a metal cylinder. Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2014, 20 (10), pp.1432-1858. 〈10.1007/s00542-013-1949-y〉. 〈ujm-01069222〉

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