Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.

Type de document :
Communication dans un congrès
11ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA11), Mar 2015, Saint-Etienne, France. 2015
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Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mercredi 15 avril 2015 - 08:15:56
Dernière modification le : lundi 26 mars 2018 - 09:00:02

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  • HAL Id : ujm-01142342, version 1

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Citation

Loic Berthod, Olga Shavdina, Yves Jourlin, Michel Langlet, Francis Vocanson, et al.. Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.. 11ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA11), Mar 2015, Saint-Etienne, France. 2015. 〈ujm-01142342〉

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