Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.

Loic Berthod; Olga Shavdina; Yves Jourlin; Michel Langlet; Francis Vocanson; C. Veillas; I. Verrier; O. Dellea

Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.

Loic Berthod ^{1, 2} Olga Shavdina ^{1, 3} Yves Jourlin ^{1, *} Michel Langlet ² Francis Vocanson ¹ C. Veillas ¹ I. Verrier ⁴ O. Dellea ³

* Corresponding author

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux

4 Laboratoire Hubert Curien / Eris

LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

Document type :

Conference papers

Domain :

Chemical Sciences / Material chemistry

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01142342
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Wednesday, April 15, 2015 - 8:15:56 AM
Last modification on : Monday, July 8, 2019 - 11:26:04 AM

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