Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.

Loic Berthod 1, 2 Olga Shavdina 1, 3 Yves Jourlin 1, * Michel Langlet 2 Francis Vocanson 1 C. Veillas 1 I. Verrier 4 O. Dellea 3
* Corresponding author
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux
4 Laboratoire Hubert Curien / Eris
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01142342
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Wednesday, April 15, 2015 - 8:15:56 AM
Last modification on : Monday, July 8, 2019 - 11:26:04 AM

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  • HAL Id : ujm-01142342, version 1

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Citation

Loic Berthod, Olga Shavdina, Yves Jourlin, Michel Langlet, Francis Vocanson, et al.. Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.. 11ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA11), Mar 2015, Saint-Etienne, France. ⟨ujm-01142342⟩

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