Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.

Loic Berthod (1, 2) , Olga Shavdina (1, 3) , Yves Jourlin (1) , Michel Langlet (2) , Francis Vocanson (1) , C. Veillas (1) , I. Verrier (1) , O. Dellea (3)

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux

Domaines: Matériaux; Optique / photonique

Loic Berthod, Olga Shavdina, Yves Jourlin, Michel Langlet, Francis Vocanson, et al.. Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.. 11ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA11), Mar 2015, Saint-Etienne, France. ⟨ujm-01142342⟩