Fabrication of optical multilayer devices from porous silicon coatings with closed porosity by magnetron sputtering

Jaime Caballero-Hernandez 1 Vanda Godinho 1 Bertrand Lacroix 1 Mari-Carmen Jimenez de Haro 1 Damien Jamon 2 Asuncion Fernandez 1
1 ICMSE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla
2 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
Type de document :
Article dans une revue
Applied Materials and Interfaces, 2015, 7 (25), pp.13889-13897. 〈10.1021/acsami.5b02356〉
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01161604
Contributeur : Damien Jamon <>
Soumis le : lundi 8 juin 2015 - 17:23:56
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:20:35

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Jaime Caballero-Hernandez, Vanda Godinho, Bertrand Lacroix, Mari-Carmen Jimenez de Haro, Damien Jamon, et al.. Fabrication of optical multilayer devices from porous silicon coatings with closed porosity by magnetron sputtering. Applied Materials and Interfaces, 2015, 7 (25), pp.13889-13897. 〈10.1021/acsami.5b02356〉. 〈ujm-01161604〉

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