La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.

Type de document :
Communication dans un congrès
12ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA12), Mar 2016, SAINT-ETIENNE, France
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Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : jeudi 24 mars 2016 - 18:04:29
Dernière modification le : jeudi 26 juillet 2018 - 01:10:44

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  • HAL Id : ujm-01293492, version 1

Citation

Loic Berthod, Olga Shavdina, C. Veillas, I. Verrier, Michel Langlet, et al.. La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.. 12ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA12), Mar 2016, SAINT-ETIENNE, France. 〈ujm-01293492〉

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