La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.

Loic Berthod (1, 2) , Olga Shavdina (1, 3) , C. Veillas (1) , I. Verrier (1) , Michel Langlet (2) , Francis Vocanson (1) , O. Dellea (3) , Yves Jourlin (1)

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux

Domaines: Matériaux; Optique / photonique

Loic Berthod, Olga Shavdina, C. Veillas, I. Verrier, Michel Langlet, et al.. La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.. 12ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA12), Mar 2016, SAINT-ETIENNE, France. ⟨ujm-01293492⟩