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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Conference papers
La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.
Loic Berthod
1, 2
Olga Shavdina
1, 3
C. Veillas
1
I. Verrier
4
Michel Langlet
2
Francis Vocanson
1
O. Dellea
3
Yves Jourlin
1, *
*
Corresponding author
Loic Berthod 1, 2
Author
Olga Shavdina 1, 3
Author
C. Veillas 1
Author
I. Verrier 4
Mail :
Author IdHAL : isabelle-verrier ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5764-9674
Michel Langlet 2
Author
Francis Vocanson 1
Mail :
Author
O. Dellea 3
Mail :
Author
Yves Jourlin 1
Mail :
Correspondent author
1
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
2
LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique (Grenoble INP Minatec - 3 parvis Louis Néel - CS 50257- 38016 Grenoble Cedex 1 - France)
- Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5628 (France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
3
LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux (France)
- INES - Institut National de L'Energie Solaire (Parc Technologique de Savoie Technolac 50 Av. du Lac Léman, Bâtiment Lynx - BP 332 F-73377 Le Bourget-du-Lac cedex - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT/LITEN (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
4
Laboratoire Hubert Curien / Eris (France)
- LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01293492
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Thursday, March 24, 2016 - 6:04:29 PM
Last modification on : Thursday, May 14, 2020 - 12:54:02 PM
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Thursday, March 24, 2016 - 6:04:29 PM
Last modification on : Thursday, May 14, 2020 - 12:54:02 PM
Identifiers
- HAL Id : ujm-01293492, version 1
Collections
Citation
Loic Berthod, Olga Shavdina, C. Veillas, I. Verrier, Michel Langlet, et al.. La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.. 12ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA12), Mar 2016, SAINT-ETIENNE, France. ⟨ujm-01293492⟩
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