La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.

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Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Thursday, March 24, 2016 - 6:04:29 PM
Last modification on : Monday, July 8, 2019 - 11:26:04 AM

Identifiers

  • HAL Id : ujm-01293492, version 1

Citation

Loic Berthod, Olga Shavdina, C. Veillas, I. Verrier, Michel Langlet, et al.. La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.. 12ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA12), Mar 2016, SAINT-ETIENNE, France. ⟨ujm-01293492⟩

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