Direct submicron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography

Loic Berthod; Francis Vocanson; Michel Langlet; C. Veillas; S Reynaud; I. Verrier; Olivier Parriaux; Yves Jourlin; J. Laukkanen

Direct submicron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography

Loic Berthod ^{1, 2} Francis Vocanson ¹ Michel Langlet ² C. Veillas ¹ S Reynaud ¹ I. Verrier ³ Olivier Parriaux ¹ Yves Jourlin ^{1, *} J. Laukkanen ⁴

* Auteur correspondant

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

3 Laboratoire Hubert Curien / Eris

LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

4 University of Eastern Finland

Type de document :

Communication dans un congrès

2016 PHOTONICS EUROPE (SPIE), Apr 2016, BRUXELLES, Belgium. 2016

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Optique / photonique

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01301969
Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mercredi 13 avril 2016 - 13:31:50
Dernière modification le : jeudi 26 juillet 2018 - 01:10:44

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