Direct submicron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography

Type de document :
Communication dans un congrès
2016 PHOTONICS EUROPE (SPIE), Apr 2016, BRUXELLES, Belgium. 2016
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Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mercredi 13 avril 2016 - 13:31:50
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:26:19

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Loic Berthod, Francis Vocanson, Michel Langlet, C. Veillas, S Reynaud, et al.. Direct submicron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography . 2016 PHOTONICS EUROPE (SPIE), Apr 2016, BRUXELLES, Belgium. 2016. 〈ujm-01301969〉

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