Microstructuring and functionalization layers using direct photo-patternable TiO2 sol-gel process and colloidal photolithography

Type de document :
Communication dans un congrès
E-MRS 2016 Spring Meeting - symposium AA (Solution processing and properties of functional oxide thin films and nanostructures II), May 2016, LILLE, France
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Contributeur : F Vocanson <>
Soumis le : jeudi 12 mai 2016 - 12:25:04
Dernière modification le : jeudi 26 juillet 2018 - 01:11:10

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  • HAL Id : ujm-01314898, version 1

Citation

Loic Berthod, O Shavdina, F Vocanson, Michel Langlet, O. Dellea, et al.. Microstructuring and functionalization layers using direct photo-patternable TiO2 sol-gel process and colloidal photolithography. E-MRS 2016 Spring Meeting - symposium AA (Solution processing and properties of functional oxide thin films and nanostructures II), May 2016, LILLE, France. 〈ujm-01314898〉

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