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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Conference papers
Microstructuring and functionalization layers using direct photo-patternable TiO2 sol-gel process and colloidal photolithography
Loic Berthod
1
O Shavdina
2, 1
F Vocanson
1
Michel Langlet
3
O. Dellea
2
C Veillas
1
Stephanie Reynaud
1
Isabelle Verrier
4
Y. Jourlin
1
O. Dellea 2
Author
C Veillas 1
Author
Stephanie Reynaud 1
Author Employer institution : Université de Pau et des Pays de l'Adour IdHAL : stephanie-reynaud ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9048-0842
Isabelle Verrier 4
Author
Y. Jourlin 1
Author
1
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
2
LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux (France)
- INES - Institut National de L'Energie Solaire (Parc Technologique de Savoie Technolac 50 Av. du Lac Léman, Bâtiment Lynx - BP 332 F-73377 Le Bourget-du-Lac cedex - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT/LITEN (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
3
LMGP [?-2019] - Laboratoire des matériaux et du génie physique [?-2019] (Grenoble INP Minatec - 3 parvis Louis Néel - CS 50257- 38016 Grenoble Cedex 1 - France)
- Grenoble INP [2007-2019] - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology [2007-2019] (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5628 (France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
4
Laboratoire Hubert Curien / Eris (France)
- LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
Document type :
Conference papers
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01314898
Contributor : F Vocanson <>
Submitted on : Thursday, May 12, 2016 - 12:25:04 PM
Last modification on : Tuesday, October 20, 2020 - 4:12:07 PM
Contributor : F Vocanson <>
Submitted on : Thursday, May 12, 2016 - 12:25:04 PM
Last modification on : Tuesday, October 20, 2020 - 4:12:07 PM
Identifiers
- HAL Id : ujm-01314898, version 1
Collections
UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | LMGP | CEA | DRT | INC-CNRS | UGA | UNIV-SAVOIE | LITEN | IOGS | ERIS | PARISTECH | UNIV-PARIS-SACLAY | CEA-GRE | UDL
Citation
Loic Berthod, O Shavdina, F Vocanson, Michel Langlet, O. Dellea, et al.. Microstructuring and functionalization layers using direct photo-patternable TiO2 sol-gel process and colloidal photolithography. E-MRS 2016 Spring Meeting - symposium AA (Solution processing and properties of functional oxide thin films and nanostructures II), EMRS, May 2016, LILLE, France. ⟨ujm-01314898⟩
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