Microstructuring and functionalization layers using direct photo-patternable TiO2 sol-gel process and colloidal photolithography
Loic Berthod
(1)
,
O Shavdina
(2, 1)
,
F Vocanson
(1)
,
Michel Langlet
(3)
,
O. Dellea
(2)
,
C Veillas
(1)
,
Stephanie Reynaud
(1)
,
Isabelle Verrier
(1)
,
Y. Jourlin
(1)
Michel Langlet
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O. Dellea
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Stephanie Reynaud
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Isabelle Verrier
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Y. Jourlin
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