Classification of optical signature of patterned structures by neural network

Zaki Sabit Fawzi Philippe; Stéphane Robert; Bernard Bayard; I. El Kalyoubi

Classification of optical signature of patterned structures by neural network

Zaki Sabit Fawzi Philippe ¹ Stéphane Robert ¹ Bernard Bayard ¹ I. El Kalyoubi ²

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

Keywords : Scatterometry neural network classification

Type de document :

Communication dans un congrès

Nice optics 2016, Oct 2016, Nice, France

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Optique / photonique

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01390662
Contributeur : Stéphane Robert <>
Soumis le : mercredi 2 novembre 2016 - 11:53:36
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:20:36

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