Demonstration of a metal-like TiN plasmonic grating by ammonolysis of a photo-patternable TiO2 sol-gel film
Loic Berthod
(1)
,
Valentin Gâté Gâté
(1)
,
Michel Langlet
(2)
,
Francis Vocanson
(1)
,
Carmen Jiménez
(2)
,
Damien Jamon
(1)
,
I. Verrier
(1)
,
C. Veillas
(1)
,
Olivier Parriaux
(1)
,
Yves Jourlin
(1)
Michel Langlet
- Function : Author
- PersonId : 739322
- IdHAL : michel-langlet
Carmen Jiménez
- Function : Author
- PersonId : 169812
- IdHAL : carmen-jimenez
- ORCID : 0000-0002-9601-1825
- IdRef : 14770863X
Damien Jamon
- Function : Author
- PersonId : 10027
- IdHAL : damien-jamon
- ORCID : 0000-0001-5218-0793
- IdRef : 122878108
I. Verrier
- Function : Author
- PersonId : 184727
- IdHAL : isabelle-verrier
- ORCID : 0000-0002-5764-9674
- IdRef : 034237321
Yves Jourlin
- Function : Author
- PersonId : 852214
- ORCID : 0000-0002-7935-2150
- IdRef : 060278218