Demonstration of a metal-like TiN plasmonic grating by ammonolysis of a photo-patternable TiO2 sol-gel film

Type de document :
Communication dans un congrès
European Optical Society Annual Meeting (EOSAM), Sep 2016, VIENNE, Austria
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Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : jeudi 16 février 2017 - 14:19:49
Dernière modification le : vendredi 9 novembre 2018 - 16:56:06

Identifiants

  • HAL Id : ujm-01469405, version 1

Citation

Loic Berthod, Valentin Gâté, Michel Langlet, Francis Vocanson, Carmen Jiménez, et al.. Demonstration of a metal-like TiN plasmonic grating by ammonolysis of a photo-patternable TiO2 sol-gel film. European Optical Society Annual Meeting (EOSAM), Sep 2016, VIENNE, Austria. 〈ujm-01469405〉

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