Demonstration of a metal-like TiN plasmonic grating by ammonolysis of a photo-patternable TiO2 sol-gel film

Loic Berthod 1 Valentin Gâté 1 Michel Langlet 2 Francis Vocanson 1 Carmen Jiménez 2 Damien Jamon 1 I. Verrier 1 C. Veillas 1 Olivier Parriaux 1 Yves Jourlin 1
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
Type de document :
Communication dans un congrès
European Optical Society Annual Meeting (EOSAM), Sep 2016, VIENNE, Austria
Liste complète des métadonnées
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01469405
Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : jeudi 16 février 2017 - 14:19:49
Dernière modification le : vendredi 9 novembre 2018 - 16:56:06

Identifiants

  • HAL Id : ujm-01469405, version 1

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Citation

Loic Berthod, Valentin Gâté, Michel Langlet, Francis Vocanson, Carmen Jiménez, et al.. Demonstration of a metal-like TiN plasmonic grating by ammonolysis of a photo-patternable TiO2 sol-gel film. European Optical Society Annual Meeting (EOSAM), Sep 2016, VIENNE, Austria. 〈ujm-01469405〉

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