Analysis and detection of an incorrect profile shape in a classical scatterometric process

Zaki Sabit Fawzi Philippe; Stéphane Robert; I. El Kalyoubi; Bernard Bayard

doi:10.1051/epjap/2016160157

Analysis and detection of an incorrect profile shape in a classical scatterometric process

Zaki Sabit Fawzi Philippe ¹ Stéphane Robert ¹ I. El Kalyoubi ² Bernard Bayard ¹

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

Type de document :

Article dans une revue

European Physical Journal: Applied Physics, EDP Sciences, 2016, 76 (3), 〈10.1051/epjap/2016160157〉

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Electromagnétisme

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01478244
Contributeur : Bernard Bayard <>
Soumis le : mardi 28 février 2017 - 08:07:04
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:20:36

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