Article Dans Une Revue
European Physical Journal: Applied Physics
Année : 2016
Bernard Bayard : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://ujm.hal.science/ujm-01478244
Soumis le : mardi 28 février 2017-08:07:04
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:53:06
Citer
Zaki Sabit Fawzi Philippe, Stéphane Robert, I. El Kalyoubi, Bernard Bayard. Analysis and detection of an incorrect profile shape in a classical scatterometric process. European Physical Journal: Applied Physics, 2016, 76 (3), ⟨10.1051/epjap/2016160157⟩. ⟨ujm-01478244⟩
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