Analysis and detection of an incorrect profile shape in a classical scatterometric process

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European Physical Journal: Applied Physics, EDP Sciences, 2016, 76 (3), 〈10.1051/epjap/2016160157〉
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Contributeur : Bernard Bayard <>
Soumis le : mardi 28 février 2017 - 08:07:04
Dernière modification le : vendredi 21 septembre 2018 - 16:22:11

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Zaki Sabit Fawzi Philippe, Stéphane Robert, I. El Kalyoubi, Bernard Bayard. Analysis and detection of an incorrect profile shape in a classical scatterometric process. European Physical Journal: Applied Physics, EDP Sciences, 2016, 76 (3), 〈10.1051/epjap/2016160157〉. 〈ujm-01478244〉

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