Dynamic Interferometry Lithography on a TiO2 Photoresist Sol-Gel for Diffracting Deflector Module

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Journal of Nanomaterials, Hindawi Publishing Corporation, 2017, pp.ID 8548041
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Contributeur : F Vocanson <>
Soumis le : mercredi 26 avril 2017 - 18:34:10
Dernière modification le : lundi 11 juin 2018 - 15:22:00

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  • HAL Id : ujm-01514970, version 1

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Valentin Gâté, Loic Berthod, Michel Langlet, Francis Vocanson, Isabelle Verrier, et al.. Dynamic Interferometry Lithography on a TiO2 Photoresist Sol-Gel for Diffracting Deflector Module. Journal of Nanomaterials, Hindawi Publishing Corporation, 2017, pp.ID 8548041. 〈ujm-01514970〉

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