Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel

Loic Berthod 1, 2 O Shavdina 3, 1 Francis Vocanson 1, 4 Michel Langlet 2 O. Dellea 3 C Veillas 1 Isabelle Verrier 1 Y. Jourlin 1, * Stephanie Reynaud 1
* Auteur correspondant
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux
4 Université de Lyon
Type de document :
Article dans une revue
Microelectronic Engineering, Elsevier, 2017, 177, pp.46
Liste complète des métadonnées
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01514973
Contributeur : F Vocanson <>
Soumis le : mercredi 26 avril 2017 - 18:41:51
Dernière modification le : lundi 26 mars 2018 - 09:00:02

Identifiants

  • HAL Id : ujm-01514973, version 1

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Citation

Loic Berthod, O Shavdina, Francis Vocanson, Michel Langlet, O. Dellea, et al.. Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel. Microelectronic Engineering, Elsevier, 2017, 177, pp.46. 〈ujm-01514973〉

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