Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel

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Article dans une revue
Microelectronic Engineering, Elsevier, 2017, 177, pp.46
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Contributeur : F Vocanson <>
Soumis le : mercredi 26 avril 2017 - 18:41:51
Dernière modification le : jeudi 26 juillet 2018 - 01:11:20

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  • HAL Id : ujm-01514973, version 1

Citation

Loic Berthod, O Shavdina, Francis Vocanson, Michel Langlet, O. Dellea, et al.. Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel. Microelectronic Engineering, Elsevier, 2017, 177, pp.46. 〈ujm-01514973〉

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