Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2017
F Vocanson : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://ujm.hal.science/ujm-01514973
Soumis le : mercredi 26 avril 2017-18:41:51
Dernière modification le : mercredi 14 février 2024-16:22:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : ujm-01514973 , version 1
Citer
Loic Berthod, O Shavdina, Francis Vocanson, Michel Langlet, O. Dellea, et al.. Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel. Microelectronic Engineering, 2017, 177, pp.46. ⟨ujm-01514973⟩
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