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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel
Loic Berthod
1, 2
O Shavdina
3, 1
Francis Vocanson
1, 4
Michel Langlet
2
O. Dellea
3
C Veillas
1
Isabelle Verrier
1
Y. Jourlin
1, *
Stephanie Reynaud
1
Loic Berthod 1, 2
Author
O Shavdina 3, 1
Author
Francis Vocanson 1, 4
Author
Michel Langlet 2
Author
Stephanie Reynaud 1
Author Employer institution : Université de Pau et des Pays de l'Adour IdHAL : stephanie-reynaud ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9048-0842
1
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
2
LMGP [?-2019] - Laboratoire des matériaux et du génie physique [?-2019] (Grenoble INP Minatec - 3 parvis Louis Néel - CS 50257- 38016 Grenoble Cedex 1 - France)
- Grenoble INP [2007-2019] - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology [2007-2019] (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5628 (France)
3
LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux (France)
- INES - Institut National de L'Energie Solaire (Parc Technologique de Savoie Technolac 50 Av. du Lac Léman, Bâtiment Lynx - BP 332 F-73377 Le Bourget-du-Lac cedex - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT/LITEN (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
4
Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
Document type :
Journal articles
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01514973
Contributor : F Vocanson <>
Submitted on : Wednesday, April 26, 2017 - 6:41:51 PM
Last modification on : Tuesday, October 20, 2020 - 4:12:07 PM
Contributor : F Vocanson <>
Submitted on : Wednesday, April 26, 2017 - 6:41:51 PM
Last modification on : Tuesday, October 20, 2020 - 4:12:07 PM
Identifiers
- HAL Id : ujm-01514973, version 1
Collections
UNIV-ST-ETIENNE | CNRS | LMGP | CEA | DRT | INC-CNRS | UGA | UNIV-SAVOIE | LITEN | IOGS | PARISTECH | UNIV-PARIS-SACLAY | CEA-GRE | UDL
Citation
Loic Berthod, O Shavdina, Francis Vocanson, Michel Langlet, O. Dellea, et al.. Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel. Microelectronic Engineering, Elsevier, 2017, 177, pp.46. ⟨ujm-01514973⟩
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