Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel

Loic Berthod; O Shavdina; Francis Vocanson; Michel Langlet; O. Dellea; C Veillas; Isabelle Verrier; Y. Jourlin; Stephanie Reynaud

Colloidal photolithography applied to functional microstructure on cylinder based on photopatternable TiO2 sol-gel

Loic Berthod ^{1, 2} O Shavdina ^{3, 1} Francis Vocanson ^{1, 4} Michel Langlet ² O. Dellea ³ C Veillas ¹ Isabelle Verrier ¹ Y. Jourlin ^{1, *} Stephanie Reynaud ¹

* Auteur correspondant

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux

4 Université de Lyon

Type de document :

Article dans une revue

Microelectronic Engineering, Elsevier, 2017, 177, pp.46

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Sciences de l'ingénieur [physics] / Optique / photonique

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01514973
Contributeur : F Vocanson <>
Soumis le : mercredi 26 avril 2017 - 18:41:51
Dernière modification le : jeudi 26 juillet 2018 - 01:11:20

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