Microstructuring of a cylinder by colloidal photolithography on functional TiO2 sol-gel.

Erieta-K. Koussi (1) , L. Berthod (1) , O Shavdina (2) , I. Verrier (1) , C. Veillas (1) , O. Dellea (2) , Francis Vocanson (1) , S. Reynaud (1) , Y Jourlin (1)

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien
2 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux

Domains: Material chemistry; Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Erieta-K. Koussi, L. Berthod, O Shavdina, I. Verrier, C. Veillas, et al.. Microstructuring of a cylinder by colloidal photolithography on functional TiO2 sol-gel.. Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micronanofabrication, JNTE 2017, Nov 2017, Orléans, France. ⟨ujm-01919812⟩