Optical control of the homogeneity of a silicon grating - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Optical control of the homogeneity of a silicon grating

Stéphane Robert
Fichier non déposé

Dates et versions

ujm-02060344 , version 1 (07-03-2019)

Identifiants

  • HAL Id : ujm-02060344 , version 1

Citer

Stéphane Robert, A. Mure-Ravaud. Optical control of the homogeneity of a silicon grating. Rencontres Internationales des Micro et Nanotechnologies MINATEC2003, Jun 2003, Grenoble, France. ⟨ujm-02060344⟩
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