https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-02060980 Contributor : Stéphane RobertConnect in order to contact the contributor Submitted on : Thursday, March 7, 2019 - 5:55:21 PM Last modification on : Monday, February 22, 2021 - 5:46:04 PM
Stéphane Robert, Alain Mure-Ravaud. Réduction du temps de contrôle de réseaux de diffraction submicroniques. Méthode et Techniques optiques pour l’Industrie, Nov 2004, Saint-Etienne, France. ⟨ujm-02060980⟩