Article Dans Une Revue
Applied optics
Année : 2019
Bernard Bayard : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://ujm.hal.science/ujm-02273103
Soumis le : mercredi 28 août 2019-14:54:52
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:12
Citer
Moustapha Godi Tchéré, Stéphane Robert, Zaki Sabit Fawzi, Bernard Bayard. Reconstruction of a complex profile shape by weighting basic characterization results for nanometrology. Applied optics, 2019, 58 (22), pp.6118. ⟨10.1364/AO.58.006118⟩. ⟨ujm-02273103⟩
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