K. Sugioka and Y. Cheng, Light: Sci. Appl, vol.3, p.149, 2014.

M. Domke, B. Egle, G. Piredda, S. Stroj, G. Fasching et al., J. Micromech. Microeng, vol.26, p.115004, 2016.

J. Bonse, S. Höhm, S. V. Kirner, A. Rosenfeld, and J. Krüger, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron, vol.23, p.1, 2017.

T. Baldacchini, J. E. Carey, M. Zhou, and E. Mazur, Langmuir, vol.22, p.4917, 2006.

B. Dusser, Z. Sagan, H. Soder, N. Faure, J. Colombier et al., Opt. Express, vol.18, p.2913, 2010.

T. Her, R. J. Finlay, C. Wu, S. Deliwala, and E. Mazur, Appl. Phys. Lett, vol.73, p.1673, 1998.

M. Halbwax, T. Sarnet, P. Delaporte, M. Sentis, H. Etienne et al., Thin Solid Films, vol.516, p.6791, 2008.

D. Scorticati, G. Römer, D. F. De-lange, and B. , Huis in 't Veld, J. Nanophotonics, vol.6, p.63528, 2012.

A. Y. Vorobyev, V. S. Makin, and C. Guo, Phys. Rev. Lett, vol.102, p.234301, 2009.

A. Papadopoulos, E. Skoulas, A. Mimidis, G. Perrakis, G. Kenanakis et al., Adv. Mater, vol.31, p.1901123, 2019.

N. Tagawa, M. Takada, A. Mori, H. Sawada, and K. Kawahara, Tribol. Lett, vol.24, p.143, 2006.

E. Rebollar, I. Frischauf, M. Olbrich, T. Peterbauer, S. Hering et al., Biomaterials, vol.29, p.1796, 2008.

J. Z. Skolski, G. R. Romer, J. Vincenc, and A. J. Obo?a, Huis in't Veld, J. Appl. Phys, vol.115, p.103102, 2014.

H. Zhang, J. Colombier, C. Li, N. Faure, G. Cheng et al., Phys. Rev. B, vol.92, p.174109, 2015.

C. Li, G. Cheng, J. Colombier, N. Faure, S. Reynaud et al., J. Opt, vol.18, p.15402, 2015.

A. Rudenko, J. Colombier, S. Höhm, A. Rosenfeld, J. Krüger et al., Itina, Sci. Rep, vol.7, p.12306, 2017.

A. V. Dostovalov, T. J. .-y.-derrien, S. A. Lizunov, F. P?eu?il, K. A. Okotrub et al., Appl. Surf. Sci, vol.491, p.650, 2019.

C. Florian, J. Déziel, S. V. Kirner, J. Siegel, and J. Bonse, Nanomaterials, vol.10, p.147, 2020.

J. Reif, O. Varlamova, S. Uhlig, S. Varlamov, and M. Bestehorn, Appl. Phys. A, vol.117, p.179, 2014.

G. D. Tsibidis, M. Barberoglou, P. A. Loukakos, E. Stratakis, and C. Fotakis, Phys. Rev. B, vol.86, p.115316, 2012.

A. Rudenko, A. Abou-saleh, F. Pigeon, C. Mauclair, F. Garrelie et al., Acta Mater, vol.194, p.93, 2020.

J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, and H. M. Van-driel, Phys. Rev. B, vol.27, p.1141, 1983.

M. Huang, F. Zhao, Y. Cheng, N. Xu, and Z. Xu, Acs Nano, vol.3, p.4062, 2009.

F. Garrelie, J. Colombier, F. Pigeon, S. Tonchev, N. Faure et al., Opt. Express, vol.19, p.9035, 2011.

A. Rudenko, C. Mauclair, F. Garrelie, R. Stoian, and J. Colombier, Nanophotonics, vol.8, p.459, 2019.

J. Bonse, J. Krüger, S. Höhm, and A. Rosenfeld, J. Laser Appl, vol.24, p.42006, 2012.

T. J. -y.-derrien, T. E. Itina, R. Torres, T. Sarnet, and M. Sentis, J. Appl. Phys, vol.114, p.83104, 2013.

E. Petrakakis, G. D. Tsibidis, and E. Stratakis, Phys. Rev. B, vol.99, p.195201, 2019.

A. Rudenko, C. Mauclair, F. Garrelie, R. Stoian, and J. Colombier, Appl. Surf. Sci, vol.470, p.228, 2019.

A. Rämer, O. Osmani, and B. Rethfeld, J. Appl. Phys, vol.116, p.53508, 2014.

J. Bonse, A. Rosenfeld, and J. Krüger, J. Appl. Phys, vol.106, p.104910, 2009.

J. Z. Skolski, G. R. Römer, J. V. Obona, V. Ocelik, and A. J. , Huis in 't Veld, Phys. Rev. B, vol.85, p.75320, 2012.

G. R. Römer, J. Z. Skolski, J. Vincenc, and A. J. Obo?a, Huis in 't Veld, Phys. Procedia, vol.56, p.1325, 2014.

J. Bonse, J. Wrobel, J. Krüger, and W. Kautek, Appl. Phys. A, vol.72, p.89, 2001.

V. Ocelík, J. V. Obo?a, J. Z. Skolski, G. R. Römer, and A. J. , Huis in t'Veld, and Jeff Th. M. De Hosson, J. Laser Applications, p.141, 2014.

A. Borowiec, M. Mackenzie, G. Weatherly, and H. Haugen, Appl. Phys. A, vol.76, p.201, 2003.

A. Cullis, N. Chew, H. Webber, and D. J. Smith, J. Cryst. Growth, vol.68, p.624, 1984.

H. Zhang, J. Colombier, and S. Witte, Phys. Rev. B, vol.101, p.245430, 2020.

T. Maitland and S. Sitzman, Electron backscatter diffraction (EBSD) technique and material characterization examples, Scanning Microscopy for Nanotechnology, pp.41-75, 2007.

Y. Fuentes-edfuf, M. Garcia-lechuga, D. Puerto, C. Florian, A. Garcia-leis et al., Sci. Rep, vol.7, p.4594, 2017.

K. Sokolowski-tinten and D. Von-der-linde, Phys. Rev. B, vol.61, p.2643, 2000.

T. Y. Choi and C. P. Grigoropoulos, J. Appl. Phys, vol.92, p.4918, 2002.

A. D. Bristow, N. Rotenberg, and H. M. Van-driel, Appl. Phys. Lett, vol.90, p.191104, 2007.

E. D. Palik, Handbook of Optical Constants of Solids, vol.3, 1998.

C. Roeser, A. Kim, J. Callan, L. Huang, E. Glezer et al., Rev. Sci. Instrum, vol.74, p.3413, 2003.

E. Bévillon, J. Colombier, V. Recoules, H. Zhang, C. Li et al., Phys. Rev. B, vol.93, p.165416, 2016.

H. Zhang, C. Li, E. Bévillon, G. Cheng, J. Colombier et al., Phys. Rev. B, vol.94, p.224103, 2016.

K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B, vol.85, p.45134, 2012.

D. Yu, L. Jiang, F. Wang, L. Qu, and Y. Lu, Appl. Phys. A, vol.122, p.494, 2016.

X. Andrade, J. Alberdi-rodriguez, D. A. Strubbe, M. J. Oliveira, F. Nogueira et al., J. Phys.: Condens. Matter, vol.24, p.233202, 2012.

F. Tran and P. Blaha, Phys. Rev. Lett, vol.102, p.226401, 2009.

S. A. Sato, Y. Taniguchi, Y. Shinohara, and K. Yabana, J. Chem. Phys, vol.143, p.224116, 2015.

N. Troullier and J. L. Martins, Phys. Rev. B, vol.43, p.1993, 1991.

T. Otobe, M. Yamagiwa, J. Iwata, K. Yabana, T. Nakatsukasa et al., Phys. Rev. B, vol.77, p.165104, 2008.

E. Yablonovitch, J. P. Heritage, D. E. Aspnes, and Y. Yafet, Phys. Rev. Lett, vol.63, p.976, 1989.

A. Sommer, E. M. Bothschafter, S. A. Sato, C. Jakubeit, T. Latka et al., Nature, vol.534, p.86, 2016.

E. S. Zijlstra, A. Kalitsov, T. Zier, and M. E. Garcia, Adv. Mater, vol.25, p.5605, 2013.

J. F. Young and H. M. Van-driel, Phys. Rev. B, vol.26, p.2147, 1982.

X. Gonze, B. Amadon, P. Anglade, J. Beuken, F. Bottin et al., Comput. Phys. Commun, vol.180, p.2582, 2009.

P. Hohenberg and W. Kohn, Phys. Rev, vol.136, p.864, 1964.

W. Kohn and L. J. Sham, Phys. Rev, vol.140, p.1133, 1965.

N. D. Mermin, Phys. Rev, vol.137, p.1441, 1965.

J. P. Perdew, K. Burke, and M. Ernzerhof, Phys. Rev. Lett, vol.77, p.3865, 1996.

M. Torrent, F. Jollet, F. Bottin, G. Zérah, and X. Gonze, Comput. Mater. Sci, vol.42, p.337, 2008.

H. J. Monkhorst and J. D. Pack, Phys. Rev. B, vol.13, p.5188, 1976.

C. Kittel, Introduction to Solid State Physics, 2004.

R. W. Godby, M. Schlüter, and L. J. Sham, Phys. Rev. Lett, vol.56, p.2415, 1986.

V. Recoules, J. Clérouin, G. Zérah, P. M. Anglade, and S. Mazevet, Phys. Rev. Lett, vol.96, p.55503, 2006.

E. Bévillon, J. Colombier, V. Recoules, and R. Stoian, Phys. Rev. B, vol.89, p.115117, 2014.

A. Rudenko, K. Ladutenko, S. Makarov, and T. E. Itina, Adv. Opt. Mater, vol.6, p.1701153, 2018.

M. A. Green and M. J. Keevers, Prog. Photovoltaics Res. Appl, vol.3, p.189, 1995.

A. Rudenko, J. Colombier, and T. E. Itina, Int. J. Numer. Modell. Electron. Networks Devices Fields, vol.31, p.2215, 2018.

K. S. Yee, IEEE Trans. Antennas Propag, vol.14, p.302, 1966.

A. Taflove and S. C. Hagness, Computational Electrodynamics: The Finite-Difference Time-Domain Method, 2000.

J. A. Roden, S. D. Gedney, and M. Opt, Technol. Lett, vol.27, p.334, 2000.

H. M. Van-driel, Phys. Rev. B, vol.35, p.8166, 1987.

E. J. Yoffa, Phys. Rev. B, vol.21, p.2415, 1980.

P. P. Pronko, P. A. Vanrompay, C. Horvath, F. Loesel, T. Juhasz et al., Phys. Rev. B, vol.58, p.2387, 1998.

J. Déziel, L. J. Dubé, S. H. Messaddeq, Y. Messaddeq, and C. Varin, Phys. Rev. B, vol.97, p.205116, 2018.

F. Costache, S. Kouteva-arguirova, and J. Reif, Appl. Phys. A, vol.79, p.1429, 2004.

P. Lalanne, J. Hugonin, H. Liu, and B. Wang, Surf. Sci. Rep, vol.64, p.453, 2009.

A. Y. Nikitin, S. G. Rodrigo, F. García-vidal, and L. Martín-moreno, New J. Phys, vol.11, p.123020, 2009.

A. Y. Nikitin, F. J. García-vidal, and L. Martín-moreno, Phys. Rev. Lett, vol.105, p.73902, 2010.

A. Saleh, A. Rudenko, L. Douillard, F. Pigeon, F. Garrelie et al., ACS Photonics, vol.6, p.2287, 2019.

B. Rethfeld, K. Sokolowski-tinten, D. Der-linde, and S. I. Anisimov, Phys. Rev. B, vol.65, p.92103, 2002.

M. Garcia-lechuga, D. Puerto, Y. Fuentes-edfuf, J. Solis, and J. Siegel, ACS Photonics, vol.3, p.1961, 2016.

T. Zier, E. S. Zijlstra, and M. E. Garcia, Appl. Phys. A, vol.117, p.1, 2014.

A. Rudenko, C. Mauclair, F. Garrelie, R. Stoian, and J. Colombier, Phys. Rev. B, vol.99, p.235412, 2019.

G. Tsibidis, E. Stratakis, and K. E. Aifantis, J. Appl. Phys, vol.111, p.53502, 2012.

J. Bonse, S. Baudach, J. Krüger, W. Kautek, and M. Lenzner, Appl. Phys. A, vol.74, p.19, 2002.

J. Jia, M. Li, and C. V. Thompson, Appl. Phys. Lett, vol.84, p.3205, 2004.

O. Varlamova, M. Bounhalli, and J. Reif, Appl. Surf. Sci, vol.278, p.62, 2013.

X. Sedao, A. Saleh, A. Rudenko, T. Douillard, C. Esnouf et al., ACS Photonics, vol.5, p.1418, 2018.

P. F. Mcmillan, Nat. Mater, vol.1, p.19, 2002.

S. Sastry and C. A. Angell, Nat. Mater, vol.2, p.739, 2003.

V. V. Vasisht and S. Sastry, Liq. Polymorphism, vol.152, p.463, 2013.

W. D. Luedtke and U. Landman, Phys. Rev. B, vol.40, p.1164, 1989.

D. Pierce and W. E. Spicer, Phys. Rev. B, vol.5, p.3017, 1972.

M. J. Assael, I. J. Armyra, J. Brillo, S. V. Stankus, J. Wu et al., J. Phys. Chem. Ref. Data, vol.41, p.33101, 2012.

T. J. -y.-derrien, J. Krüger, T. E. Itina, S. Höhm, A. Rosenfeld et al., Opt. Express, vol.21, p.29643, 2013.

S. Nakamura and T. Hibiya, Int. J. Thermophys, vol.13, p.1061, 1992.

J. Bonse and S. Gräf, Laser Photonics Rev, vol.14, 2020.

Y. Levy, T. J. .-y.-derrien, N. M. Bulgakova, E. L. Gurevich, and T. Mocek, Appl. Surf. Sci, vol.374, p.157, 2016.

I. Prigogine, Science, vol.201, p.777, 1978.

R. Lefever, Philos. Trans. R. Soc. A, vol.376, p.20170365, 2018.