Micro-nanostruction de films minces d’oxyde de titane et de nitrure de titane pour des applications optiques.

Maria Alejandra Usuga Higuita (1) , Arnaud Valour (1) , Stéphanie Reynaud (1) , Francis Vocanson (1) , Michel Langlet (2) , Emilie Gamet (1) , Nicolas Crespo-Monteiro (1) , Yves Jourlin (1)

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

Domains: Chemical Sciences; Material chemistry; Engineering Sciences [physics]; Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Maria Alejandra Usuga Higuita, Arnaud Valour, Stéphanie Reynaud, Francis Vocanson, Michel Langlet, et al.. Micro-nanostruction de films minces d’oxyde de titane et de nitrure de titane pour des applications optiques.. 14ème journée Sol-Gel et Chimie Liquide Auvergne Rhône-Alpes (JSGAuRA14), Apr 2022, SAINT-ETIENNE, France. ⟨ujm-03690643⟩