Rapid Control of submicrometer periodic structures by a neural inversion from ellipsometric measurement - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Optics Communications Année : 2007

Rapid Control of submicrometer periodic structures by a neural inversion from ellipsometric measurement

Domaines

Optique / photonique

Damien Jamon  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://ujm.hal.science/ujm-00291969

Soumis le : lundi 30 juin 2008-11:02:19

Dernière modification le : mercredi 6 décembre 2023-18:18:33

Fichier non déposé

Dates et versions

ujm-00291969 , version 1 (30-06-2008)

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00291969 , version 1

Citer

Issam Gereige, Stéphane Robert, Damien Jamon, Jean Jacques Rousseau, Gérard Granet. Rapid Control of submicrometer periodic structures by a neural inversion from ellipsometric measurement. Optics Communications, 2007, 278 (2), pp.270. ⟨ujm-00291969⟩

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